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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            > 流化床CVD系統

            流化床CVD系統

            流化床CVD系統

            226
            規格/型號:KJ-CVD-DZ
            品牌:鴻爐機械
            應用領域:材料制備
            產地:河南 - 鄭州
            廠家/供應商:河南鴻爐機械設備有限公司
            咨詢電話::17737149370(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-07-24
            級別:待認證

            流化床CVD系統說明介紹

            流化床CVD系統

            設備介紹

            定制流化床CVD系統,由真空立式管式爐、供氣系統、真空系統、真空測量系統組成。該系統以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化多晶纖維材料,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。該立式CVD管式爐廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。

            產品優勢

            多段智能PID程序控溫

            控溫系統采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃

            優良的動密封系統

            不銹鋼金屬法蘭,帶閥門和相關接口,拆裝方便,可抽真空充保護氣體至微正壓

            立式可開啟結構

            雙層殼體立式可開啟結構,取放爐管方便,裝有風冷系統,爐子外殼溫度保持安全范圍內

            技術參數

            產品名稱 流化床CVD系統

            產品型號 KJ-CVD-DZ

            立式管式爐部分

            爐膛模式 立式開啟式

            爐膛材料 進口氧化鋁耐火纖維

            加熱元件 優質硅碳棒

            極限溫度 1400℃

            工作溫度 ≤1300℃

            升溫速率 建議≤10℃/min

            加熱溫區 單溫區、多溫區

            溫區總長度 200mm、300mm、440mm可選(其他尺寸可根據客戶需求定制)

            爐管材質 高純石英管、剛玉管

            爐管直徑 40、50、60、80、100mm可選(其他尺寸可根據客戶需求定制)

            密封方式 304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)

            控制模式 多段智能PID程序控溫 預留通訊接口

            控溫精度 ±1℃

            溫度曲線 多段"時間—溫度曲線"任意可設

            測溫元件 N型熱電偶

            氣路系統部分

            氣體通道 可同時連接多種氣源

            流 量 計 質量流量計

            A路量程 0~500SCCM

            B路量程 0~500SCCM

            C路量程 0~500SCCM

            氣路壓力 -0.1~0.15 MPa

            截止閥 不銹鋼材質

            氣體連接管 1/4不銹鋼管

            數顯真空計及連接件

            數顯真空計 數顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上

            真空泵組(相關連接配件)

            真空泵 真空泵,及相應連接管件

            售后服務

            質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)
            分享 0
                     
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            河南鴻爐機械設備有限公司
            企業認證:
              
            所屬領域:
            材料制備
            企業性質:
            -
            經營范圍:
            -
            聯系電話:
            17737149370
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