設備介紹
定制流化床CVD系統,由真空立式管式爐、供氣系統、真空系統、真空測量系統組成。該系統以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用
氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,
真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。該立式CVD管式爐廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如
碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
產品優勢
多段智能PID程序控溫
控溫系統采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃
優良的動密封系統
不銹鋼金屬法蘭,帶閥門和相關接口,拆裝方便,可抽真空充保護氣體至微正壓
立式可開啟結構
雙層殼體立式可開啟結構,取放爐管方便,裝有風冷系統,爐子外殼溫度保持安全范圍內
技術參數
產品名稱 流化床CVD系統
產品型號 KJ-CVD-DZ
立式管式爐部分
爐膛模式 立式開啟式
爐膛材料 進口氧化鋁耐火纖維
加熱元件 優質硅碳棒
極限溫度 1400℃
工作溫度 ≤1300℃
升溫速率 建議≤10℃/min
加熱溫區 單溫區、多溫區
溫區總長度 200mm、300mm、440mm可選(其他尺寸可根據客戶需求定制)
爐管材質 高純石英管、剛玉管
爐管直徑 40、50、60、80、100mm可選(其他尺寸可根據客戶需求定制)
密封方式 304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)
控制模式 多段智能PID程序控溫 預留通訊接口
控溫精度 ±1℃
溫度曲線 多段"時間—溫度曲線"任意可設
測溫元件 N型熱電偶
氣路系統部分
氣體通道 可同時連接多種氣源
流 量 計 質量流量計
A路量程 0~500SCCM
B路量程 0~500SCCM
C路量程 0~500SCCM
氣路壓力 -0.1~0.15 MPa
截止閥 不銹鋼材質
氣體連接管 1/4不銹鋼管
數顯真空計及連接件
數顯真空計 數顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上
真空泵組(相關連接配件)
真空泵 真空泵,及相應連接管件
售后服務
質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)