設備介紹
本CVD系統是由管式爐加熱系統,質子流量計供氣系統,真空系統和氣體定量系統組成,帶水冷法蘭雙路流量計并配有雙極旋片泵、水冷機、數字真空計且該CVD反應爐可抽真空、通氣氛,該設備適用于各種CVD實驗。
產品優勢
雙層殼體上開啟結構
雙層殼體上開啟結構,取放爐管方便,裝有風冷系統,爐子外殼溫度保持安全范圍內
超溫保護和預警功能
內置PID自動調節功能,具有過熱和熱電偶損壞保護功能,超溫保護和報警
溫控系統智能精準
控溫系統采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃
技術參數
產品名稱 兩通道CVD系統
產品型號 KJ-T1200-CVDII
管式爐部分
工作溫度 ≤1100℃
控溫精度 ±1℃
加熱速率 建議≤10℃/min
控溫模式 可編程智能PID
曲線段數 30段
爐膛長度 440mm(其他尺寸可按客戶需求定制)
數據接口 USB
混氣系統
測量設備 質量流量控制器
測量量程 500SCCM
氣體通道 兩通道
連接管道 304不銹鋼管
接口模式 卡套接頭