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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            > 1200℃雙管滑道式CVD系統

            1200℃雙管滑道式CVD系統

            1200℃雙管滑道式CVD系統

            197
            規格/型號:KJ-1200T
            品牌:鴻爐機械
            應用領域:材料制備
            產地:河南 - 鄭州
            廠家/供應商:河南鴻爐機械設備有限公司
            咨詢電話::17737149370(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-07-24
            級別:待認證

            1200℃雙管滑道式CVD系統說明介紹

            1200℃雙管滑道式CVD系統

            設備介紹

            該系統是一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。爐底部裝有滑軌,可通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻。該cvd高溫爐廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
            產品優勢

            可快速加熱和冷卻

            爐底部裝有滑軌,可通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻

            30段高精度可編程溫控

            控溫系統采用PID方式調節,30段高精度數字可編程溫度控制器

            雙溫區獨立控溫

            雙溫區獨立控溫,可以在加熱區內形成溫度梯度或較長的恒溫區域

            技術參數

            產品名稱 1200℃雙管滑道式CVD系統

            第一部分: 1200度滑道雙管雙溫區管式爐

            產品型號 1200度滑道管式爐

            爐管尺寸:

            雙石英管

            外管:OD 100 x ID 96 x 1400 mm

            內管:OD 80 x ID 75 x 1800 mm

            (其他尺寸可根據客戶需求定制)

            加熱區 220+220mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)

            加熱元件 電阻絲

            升溫速率 0-10°C/min

            熱電偶 N型

            第二部分: 水冷系統

            法蘭:

            1.可選配水冷機

            2.水冷,密封雙管的真空法蘭:允許反應氣體通過兩管之間(10mm間隙)發生反應,冷卻氣體直接通入內管.

            第三部分 真空系統

            真空系統

            1. 防腐數顯真空計

            2.旋片泵,含擋板閥 KF25接口,波紋管和箱體

            第四部分 混氣系統

            質量流量計

            量程:

            MFC 1: 0~10 sccm

            MFC 2: 0~200 sccm

            MFC 3: 0~10 slm

            MFC 3: 0~10 slm
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            河南鴻爐機械設備有限公司
            企業認證:
              
            所屬領域:
            材料制備
            企業性質:
            -
            經營范圍:
            -
            聯系電話:
            17737149370
            詳細地址:
            -

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