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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            雙爐體CVD設備

            雙爐體CVD設備

            368
            規格/型號:KJ-T1200-W2
            品牌:鴻爐機械設
            應用領域:材料制備
            產地:河南 - 鄭州
            廠家/供應商:河南鴻爐機械設備有限公司
            咨詢電話::177-3714-9370(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-07-29
            級別:待認證

            雙爐體CVD設備說明介紹

            雙爐體CVD設備

            設備介紹

            該雙爐體CVD系統為定制款,適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。

            產品優勢

            PID溫控系統

            控制電路選用模糊PID程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單

            專利法蘭設計

            氣路快速連接法蘭結構采用本公司獨有的知識產權專利設計,提高操作便捷性

            智能真空系統

            中真空系統具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統采用高壓強耐沖擊分子泵,防止意外漏氣造成分子泵損壞

            技術參數

            產品型號 KJ-T1200-W2

            管式爐部分

            爐體結構 雙層殼體結構,配有冷風系統自動降溫爐殼溫度

            爐膛材質 日本技術真空吸附成型的優質高純氧化多晶纖維固化爐膛,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡

            最高溫度 1200℃

            使用溫度 ≤1100℃

            升溫速度 推薦≤10℃/min

            爐管材料 石英管

            爐管尺寸 外徑:50mm*內徑:44mm* 長1400mm

            (其他尺寸可根據客戶需求定制)

            加熱區長度 200mm+200mm(雙爐體)

            (其他尺寸可根據客戶需求定制)

            法蘭 不銹鋼密封法蘭,拆卸方便,法蘭上裝有精密針閥

            溫控系統 溫度控制系統采用人工智能調節技術,具有PID調節、自整定功能,并可編制30段升降溫程序;

            1、采用PID方式調節控溫,可設置30段升降溫程序

            2、控溫精度±1oC

            3、具有過溫保護、斷偶保護

            4、儀表具有溫度自整定的功能

            加熱元件 合金電阻絲

            測溫元件 2支N型熱電偶分別獨立控溫

            進出氣口 法蘭上含有進出氣口和精密針閥

            氣路系統部分

            質量流量計

            二路精密質量流量計:數字顯示、氣體流量自動控制。

            MFC1 N2 范圍: 0-1000 sccm

            MFC2 CO2范圍: 0-1000 sccm

            氣路:2路
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            河南鴻爐機械設備有限公司
            企業認證:
              
            所屬領域:
            材料制備
            企業性質:
            -
            經營范圍:
            -
            聯系電話:
            177-3714-9370
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