設備介紹
KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S型高溫真空CVD設備由KJ-T1200滑動式快速退火管式爐+真空系統+供氣系統組成 ,最高溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合,可以對多種氣體進行準確的混氣,然后導入到管式爐內部。爐管兩端安裝真空法蘭,可以通過選配
真空泵組來實現更高的真空度。爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動。為取得最快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端,是低成本快速熱處理的理想爐子。
產品優勢
雙層內膽爐殼,配有風冷系統,快速升降溫
整個爐體采用雙層內膽式結構,中間有氣隙隔離,即使爐膛溫度很高,爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺
多晶纖維爐膛,節能耐腐蝕
重量輕、升溫速度快、節能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好,能滿足何種快速燒結的要求
微電腦PID控制器,操作簡便
操作簡便,控溫準確、可靠、安全多段可編程控制,可以簡化復雜的試驗過程,真正實現自動控制和運行
技術參數
結構 采用雙層殼體結構,并帶有風冷,用于江堤殼體表面溫度
加熱元件 電阻絲
工作溫度 ≤1100°C
最高溫度 1200°C
最大升溫速率 建議10°C/min
加熱區長度 400mm (其他尺寸可根據客戶需求定制)
溫控系統 一個精密溫度控制器 PID方式控制,通過可控硅 SCR可設置30段升降溫程序。
控溫精度 +/-1°C
爐管材質和尺寸 石英管 內徑: 72mm x 外徑: 80 mm x 長度:1000 mm
(其他尺寸可根據客戶需求定制)
密封法蘭 兩個不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經安裝數字式真空顯示計,和閥門通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr,泄漏率最大6 mtorr/min
真空泵 真空泵:一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr
氣體流量計
4個浮子流量計,可同時混入4種不同氣體。
四通道控制 精度0.02% 、數字顯示、自動控制