設備介紹
科佳公司研制開發了
碳納米管、納米線連續生長專用設備,該設備由氣流控制系統、注液系統、多級溫控多區生長系統、水冷系統、碳納米管等組成。碳納米管生長爐最高工作溫度為1400℃,可在0-1400℃之間連續調節,熱場垂直分布,兩點控溫。設備頂部設有注液口和導流件。這種碳納米管/薄膜CVD設備可以實現連續和不間斷生長。
產品優勢
工作溫度0-1400℃連續調節
最高工作溫度為1400℃,可在0-1400℃之間連續調節,熱場垂直分布,兩點控溫。
鎧裝法蘭 方便測溫
可測量爐內注液口噴嘴溫度,法蘭已改為鎧裝法蘭,方便測溫。
水箱采用梯形結構設計
爐管下方增設水箱,材質為不銹鋼。水箱采用梯形結構設計,方便放線操作。
技術參數
設備名稱 碳納米管/納米線CVD生長爐
設備型號 KJ-T1400V
高溫爐殼體 雙層殼體結構,帶風冷系統,內爐膛表面涂有進口
氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度
加熱元件 硅碳棒
最高工作溫度 1400℃
連續工作溫度 ≤1300℃
升溫速率 建議≤10 ℃/min
爐管材質和尺寸 剛玉管: 外徑 80mm x 長1500 mm (其他尺寸可根據客戶需求定制)
加熱區長度 700mm+400mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)
熱電偶 S型熱電偶進行測溫和控溫
控溫系統 PID30段程序化控溫
控溫精度 +/- 1 ℃
不銹鋼法蘭 儀器內附有一套不銹鋼真空法蘭(安裝有不銹鋼針閥和機械壓力表),鎧裝法蘭可用于將熱電偶延伸到進口處測量其溫度
售后服務 質保一年,終身保修