設備介紹
科佳KJ-1200T-V50是一款立式流化床CVD系統 ,專門針對粉末表面沉積的CVD實驗,爐體設計為開啟式,當實驗結束后,可將爐體打開,拿出石英管,取出反應后的顆粒。爐管內部配置一0.2mm石英多孔板(孔徑為客戶訂制,)粉末可放在多孔石英板上,氣體可從爐管下端通入,通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區域,進行沉積實驗。注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時,也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區,所以實驗時要根據顆粒的大小尺寸來調節氣體流量。
產品優勢
立式可開啟結構
雙層殼體立式可開啟結構,取放爐管方便,裝有風冷系統,爐子外殼溫度保持安全范圍內
多段智能PID程序控溫
控溫系統采用PID方式調節,多段"時間—溫度曲線"任意可設,可編程30步
優良的動密封系統
不銹鋼金屬法蘭,帶閥門和相關接口,拆裝方便,可抽真空,同時連接2種氣源至微正壓
技術參數
產品型號 KJ-1200T-V50
加熱區長度 400mm(其他尺寸可按客戶需求定制)
爐管尺寸 直徑50*900mm(其他尺寸可按客戶需求定制)
爐管材質 高純石英管內置0.2mm石英多孔板(訂制)
工作溫度 ≦1100℃
最高溫度 1200℃
測溫元件 N型熱電偶測溫
溫控系統 智能化30段PID微電腦可編程自動控制并有自動整定功能
控溫精度 ±1℃
溫控保護 具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率 0-10℃/min
加熱元件 合金電阻絲
爐膛材料 采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
法蘭 不銹鋼真空法蘭,拆卸方便
密封系統 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好
流化區域 1.反應氣體均勻地通過反應區
2.固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區內
3.爐體設計為開啟式,當實驗結束后,可將爐體打開,拿出石英管,取出反應后的顆粒。
注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時,也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區,所以實驗時要根據顆粒的大小尺寸來調節氣體流量
殼體結構 雙層殼體結構帶風冷系統,開啟式
爐體結構 立式結構
測量與控制裝置
名稱 二路質量流量計
流量控制 數字顯示,每路氣體含有針閥單獨控制
鏈接方式 雙卡套接頭
流量計 質量流量計
混氣 內含一個精密混氣罐