設備介紹
KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式爐由KJ-T1200管式爐+真空系統+供氣系統組成 ,最高溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表,能進行30段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用日本進口
氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。
產品優勢
保溫節能爐膛
內爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度
安全防燙爐殼
爐殼采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統,用于降低殼體表面溫度
PID30段程序化控溫
控溫系統采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃
技術參數
設備名稱 溫區CVD管式爐
設備型號 KJ-1200T-S60LK3-3FZ
高溫爐殼 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統,用于降低殼體表面溫度
加熱元件 電阻絲
最高工作溫度 1200℃
工作溫度 ≤1100℃
升溫速率 建議≤10 ℃/min
爐管材質尺寸 石英管: 外徑: 80mm x 內徑: 75 mm x 長度: 1000 mm
(其他尺寸可根據客戶需求定制)
加熱區長度 三溫區:200+200+200 mm
(其他尺寸可根據客戶需求定制)
控溫系統 PID30段程序化控溫
控溫精度 +/- 1 ℃
真空密封系統 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥),最大漏氣率6 mtorr/min
真空顯示計 數顯真空計,已安裝在不銹鋼法蘭上
混氣系統
三個質量流量計
三路質量量程分別為
10-100 cc/min.
16-160 cc/min.
25-250 cc/min
內部安裝有一混氣罐
售后服務 質保一年,終身保修
可選配件:
質量混氣系統1臺、雙旋機械泵1臺、N型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、爐塞1對、高溫手套1副、說明書1份