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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            > 1200℃PECVD系統

            1200℃PECVD系統

            1200℃PECVD系統

            353
            規格/型號:KJ-PECVD-1200-50*300-F3
            品牌:鴻爐機械
            應用領域:材料制備
            產地:河南 - 鄭州
            廠家/供應商:河南鴻爐機械設備有限公司
            咨詢電話::177-3714-9370(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-07-29
            級別:待認證

            1200℃PECVD系統說明介紹

            1200℃PECVD系統

            設備介紹

            PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。該PECVD管式爐溫度范圍寬;濺射區域長;整管可調;精致小巧,性價比高,可實現快速升降溫,是實驗室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等的理想選擇,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。

            產品優勢

            更好的沉積效率

            PECVD比普通CVD具有更高的化學氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩定性

            所需溫度更低

            PECVD對于化學氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度

            成品質量好

            具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點

            技術參數

            產品名稱 1200℃PECVD系統

            產品型號 KJ-PECVD-1200-50*300-F3

            加熱系統

            顯示 LED

            最高溫度 1200℃

            長期工作溫度 ≤1100℃

            升溫速率 0~10℃/min

            溫區長度 300mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)

            加熱元件 硅鉬棒

            熱電偶 N型

            溫度均勻性 ±1℃

            爐管尺寸 直徑60 x 長度1200mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)

            材質:氧化

            溫度控制 通過可控硅功率控制進行PID自動控制

            加熱過程 30步可編程

            最大工作壓力 0.02MPa

            真空系統

            旋片泵 冷態極限真空10Pa

            真空計 數顯真空計

            真空法蘭 帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭

            質量流量計

            流量范圍 CO2(流量范圍:0-200 sccm

            CH4(流量范圍:0-200 sccm)

            N2 流量范圍(流量范圍:0-200 sccm)

            等離子射頻發生器

            輸出功率:0 -300W可調,±1%穩定性

            射頻頻率:13.56 MHz ±0.005% 穩定性
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            河南鴻爐機械設備有限公司
            企業認證:
              
            所屬領域:
            材料制備
            企業性質:
            -
            經營范圍:
            -
            聯系電話:
            177-3714-9370
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