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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            > 滑道式PECVD系統

            滑道式PECVD系統

            滑道式PECVD系統

            167
            規格/型號:KJ-T1200-S6044-LK-Z
            品牌:鴻爐機械
            應用領域:材料制備
            產地:河南 - 鄭州
            廠家/供應商:河南鴻爐機械設備有限公司
            咨詢電話::177-3714-9370(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-07-29
            級別:待認證

            滑道式PECVD系統說明介紹

            滑道式PECVD系統

            設備介紹

            滑道式PECVD系統由PT-1200T管式爐加熱系統、真空系統、質量流量計供氣系統、等離子射頻電源系統組成。借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。

            產品優勢

            成品質量好

            PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點

            沉積效果好

            等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜

            智能多段PID可編程

            溫控系統采用PID智能化程序控溫,自整定功能并可編制多段升降溫程序

            技術參數

            產品名稱 滑道式PECVD系統

            滑軌管式爐部分

            產品型號 KJ-T1200-S6044-LK-Z

            加熱區長度 440mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)

            爐管直徑 直徑60mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)

            工作溫度 ≦1100℃

            最高溫度 1200℃

            測溫元件 N型熱電偶

            溫控系統 PID微電腦可編程自動控制

            控溫精度 ±1℃

            溫控保護 具有超溫和斷偶保護功能

            升溫速率 0-10℃/min

            加熱元件 電阻絲

            滑軌設計 能實現快速升降溫

            爐膛材料 采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡

            密封系統 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好

            爐 管 高純石英管

            法 蘭 不銹鋼法蘭,方便拆卸,放取材料

            真空系統部分

            名稱 高真空分子泵組

            主要參數 真空泵極限真空度10-3 pa(包含KF25接口和可移動箱體)

            氣路系統部分

            名稱 四路質量流量計

            氣路 四路

            流量控制 每路氣體含有針閥單獨控制

            流量計 質量流量計

            等離子電源系統

            匹配功率范圍 0-500W

            工作頻率 13.56MHZ+0.005%

            控制模式 手動/自動

            售后服務 質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)
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            河南鴻爐機械設備有限公司
            企業認證:
              
            所屬領域:
            材料制備
            企業性質:
            -
            經營范圍:
            -
            聯系電話:
            177-3714-9370
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