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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            高真空PECVD設備

            高真空PECVD設備

            230
            規格/型號:KJ-T1200-S5030-H
            品牌:鴻爐機械
            應用領域:材料制備
            產地:河南 - 鄭州
            廠家/供應商:河南鴻爐機械設備有限公司
            咨詢電話::177-3714-9370(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-07-29
            級別:待認證

            高真空PECVD設備說明介紹

            高真空PECVD設備

            設備介紹

            PECVD系統由管式爐,真空系統、供氣系統、射頻電源系統等組成。PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。PECVD增加功能容易,可擴展等離子清洗刻蝕等功能,PECVD系統薄膜沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高等優點。 等離子增強化學沉積系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。

            產品優勢

            成品質量好

            PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點

            沉積效果好

            等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜

            薄膜應力大小可調

            可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小

            技術參數

            產品名稱 高真空PECVD設備(CE認證)

            滑軌管式爐部分

            產品型號 KJ-T1200-S5030-H

            爐管尺寸 Φ50mmX1600mm (其他尺寸可根據客戶需求定制)

            爐管材質 石英管

            加熱區 300mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)

            工作溫度 ≤1100℃

            最高溫度 1200℃

            溫控方式 N型熱電偶

            控制方式 觸屏控制,帶獨立搖臂,可以根據實際使用需求,調節溫控屏的角度,使用更方便

            控溫精度 ±1℃

            溫控保護 具有超溫和斷偶保護功能

            升溫速率 建議≤10oC/min

            加熱元件 含鉬電阻絲

            爐膛材料 氧化多晶纖維

            爐體結構 爐體帶滑軌,可實現快速升溫和降溫

            法蘭接頭 標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥

            密封系統 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好。

            殼體 不銹鋼殼體

            選配 輔助降溫風扇

            真空系統部分

            名稱 真空系統

            主要參數

            1.采用進口安捷倫高真空分子泵組,極限真空度可達10-3pa

            2.KF25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連;

            3.數字式真空顯示,測量精度高

            氣路系統部分

            名稱 四路質量流量計

            主要參數

            四通道精密質量流量計:觸屏控制,數字顯示,自動控制。

            4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側,可手動控制4種氣體;

            進出氣口:3進1出

            流量控制:手動旋轉式調節

            等離子電源部分

            名稱 500W等離子電源

            售后服務 質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)
            分享 0
                     
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            企業認證:
              
            所屬領域:
            材料制備
            企業性質:
            -
            經營范圍:
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            聯系電話:
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