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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            立式PECVD設備

            立式PECVD設備

            228
            規格/型號:KJ-PECVD-DZ
            品牌:鴻爐機械
            應用領域:材料制備
            產地:河南 - 鄭州
            廠家/供應商:河南鴻爐機械設備有限公司
            咨詢電話::177-3714-9370(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-07-29
            級別:待認證

            立式PECVD設備說明介紹

            立式PECVD設備

            設備介紹

            定制立式PECVD設備,由真空立式管式爐、石英真空室、射頻電源、供氣系統、真空測量系統組成。該系統以含鉬電阻絲為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化多晶纖維材料,爐管兩端能不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。

            產品優勢

            沉積效果好

            等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜

            成品質量好

            PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點

            沉積應力大小可調

            可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小

            技術參數

            產品名稱 定制PECVD設備

            產品型號 KJ-PECVD-DZ

            立式管式爐

            爐膛模式 立式開啟式

            爐膛材料 高純度氧化鋁耐火纖維

            加熱元件 含鉬加熱絲

            極限溫度 1200℃

            工作溫度 ≤1100℃

            升溫速率 建議≤10℃/min

            加熱溫區 單溫區、多溫區

            溫區長度 200mm、300mm、440可選

            (其他尺寸可根據客戶需求定制)

            爐管材質 高純石英

            爐管直徑 40mm/50mm/60mm/80mm/100mm/120mm/150mm可選

            (其他尺寸可根據客戶需求定制)

            密封方式 304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)

            控制模式 觸屏 30段智能PID程序控溫 預留通訊接口

            控溫精度 ±1℃

            溫度曲線 多段"時間—溫度曲線"任意可設

            測溫元件 N型熱電偶

            氣路系統

            氣體通道 可同時連接多種氣源

            流 量 計 質量流量計

            氣路壓力 -0.1~0.15 MPa

            截止閥 不銹鋼材質

            氣體連接管 1/4不銹鋼管

            等離子電源系統

            功率范圍 0-100W、0-300W 、0-500W ± 1%

            冷卻 風冷

            數顯真空計及連接件

            數顯真空計 數顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上

            真空泵組(相關連接配件)

            真空泵 真空泵,及相應連接管件

            汽化系統 ...

            蠕動泵 精確度:+/- 0.5% FS

            流量: 0 - 10 ml/min,可調,最小速率0.1ml/min
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            河南鴻爐機械設備有限公司
            企業認證:
              
            所屬領域:
            材料制備
            企業性質:
            -
            經營范圍:
            -
            聯系電話:
            177-3714-9370
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