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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            > 六通道PECVD設備

            六通道PECVD設備

            六通道PECVD設備

            166
            規格/型號:KJ-PECVD-LM
            品牌:鴻爐機械
            應用領域:材料制備
            產地:河南 - 鄭州
            廠家/供應商:河南鴻爐機械設備有限公司
            咨詢電話::17737149370(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-07-30
            級別:待認證

            六通道PECVD設備說明介紹

            六通道PECVD設備

            設備介紹

            該pecvd設備是由管式爐真空泵和六通道質量流量計氣體流動系統組成的。它可以混合1-6種氣體用于PECVD或擴散。該PECVD管式爐通過射頻電源將石英真空室中的氣體改變為離子狀態,等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統主要用于金屬薄膜、陶瓷薄膜、復合薄膜、石墨烯等的生長。

            產品優勢

            更好的沉積效率

            PECVD比普通CVD具有更高的化學氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩定性

            所需溫度更低

            PECVD對于化學氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度

            成品質量好

            具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點

            技術參數

            型號 KJ-PECVD-LM

            管式爐部分

            Display 觸摸屏

            連續工作溫度.

            ≤1100℃第一溫區

            ≤1100℃第二溫區

            ≤1600℃第三溫區

            升溫速率 建議: 0~10℃/min

            溫區 220mm+220mm+220mm

            (其他尺寸可根據客戶需求定制)

            加熱元件 硅碳棒和硅鉬棒

            熱電偶 N型和B型

            溫度控制精度 ±1℃

            爐管尺寸 直徑:80 *長度:1600mm

            (其他尺寸可根據客戶需求定制)

            材料:氧化

            溫度控制 通過SCR功率控制的PID自動控制

            傾斜功能 0-15度

            (不建議在1100C溫度下使用傾斜功能,因為硅鉬棒加熱元件可能容易損壞。高溫時會變軟,請注意。)

            加熱曲線 30步可編程

            真空法蘭

            帶閥門的不銹鋼真空法蘭

            右側法蘭為滑動式。

            法蘭應為水冷式。

            等離子射頻

            功率范圍 0-300W(連續可調)

            控制模式 手動

            工作頻率 13.56MHz

            報警保護 直流過載保護、直流/放大器過熱保護、反射功率保護、匹配超時保護

            射頻輸出阻抗接口(50Ω) N型

            功率穩定性 ≤ 1 W

            最大反射功率 200 W

            真空泵系統

            分子泵系統 極限真空:6.7*10-3Pa。包括數字真空計

            質量流量計(LCD觸摸屏) 六個精密質量流量計:MFC精度為:±1.5%F.S。

            17MHZ超聲波霧化

            配超聲波霧化器,液體可霧化成液體顆粒并引入管式爐。

            ?液體罐標配不銹鋼,并用氟橡膠密封件密封;

            ?霧化量大小可控制;

            液體注入系統

            ?一套用于自動液體供給的標準液體注入泵

            ?注射泵配有注射器,用于容納液體;

            ?注射泵速度可調節

            水冷卻器 用于冷卻水冷法蘭和真空泵。
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            河南鴻爐機械設備有限公司
            企業認證:
              
            所屬領域:
            材料制備
            企業性質:
            -
            經營范圍:
            -
            聯系電話:
            17737149370
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