設備介紹
鄭州科佳生產的這款CVD管式爐廣泛用于樣品在真空和氣氛條件下的燒結、涂層、納米管研究、釬焊、退火等實驗,適用于高校、研究機構實驗室和工礦企業進行CVD工藝的科研和實驗。
產品優勢
雙層殼體上開啟結構
雙層殼體上開啟結構,取放爐管方便,裝有風冷系統,爐子外殼溫度保持安全范圍內
LCD觸屏操作系統
采用LCD觸屏操作系統,操作方便快捷,數據可存儲可通過EXCEL輸出
優良的動密封系統
爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便,密封性強,可使得設備在旋轉的過程中保持氣氛狀態
技術參數
加熱系統(管式爐)
最高溫度 1200 ℃
工作溫度 ≤1100℃
顯示 LCD觸摸屏
管徑 100mm(外徑)(其他尺寸可按客戶需求定制)
管材 高純石英管
熱區長度 300mm(其他尺寸可按客戶需求定制)
加熱元件 含鉬電阻絲
加熱速率 建議≤10℃/min
溫度控制
?可保存16條溫度曲線的LCD觸摸屏控制,每條溫度曲線可自動設置,可編程30步。
?通過SCR功率控制實現PID自動控制。
?內置超溫和熱電偶故障保護。
熱電偶 N型
溫控精度 ±1℃
爐膛 雙層鋼制外殼,帶雙冷卻風扇,上開啟結構
高純度Al2O3纖維爐膛材質,保溫節能
真空法蘭 帶閥門的不銹鋼真空法蘭
供氣系統
浮子流量計 S標準流量范圍:
氣體流量為10-100ml/min(最終流量范圍基于客戶要求)
壓力表 機械壓力表(-0.1Mpa至0.15Mpa)
高真空擴散泵組 旋轉葉片泵、擴散泵系統
極限真空:0.0001mbar
真空計 電阻真空計
電離真空計
冷水機組(選配) 冷水機組用于冷卻水泵
質保 一年有限保修(加熱元件等消耗品不在保修范圍內),并提供終身支持