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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            三溫區CVD設備

            三溫區CVD設備

            361
            規格/型號:KJ-OTF-1700-F5
            品牌:鴻爐機械
            應用領域:材料制備
            產地:河南 - 鄭州
            廠家/供應商:河南鴻爐機械設備有限公司
            咨詢電話::177-3714-9370(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-07-29
            級別:待認證

            三溫區CVD設備說明介紹

            三溫區CVD設備

            設備介紹

            這款CVD反應爐控制電路選用模糊PID程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單,中真空系統具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統采用高壓強,耐沖擊分子泵防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統使用壽命。此款三溫區CVD生長系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電(MLCC)氣氛燒結等實驗。

            產品優勢

            PID程控控制系統

            控制電路選用模糊PID程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠

            耐沖擊高真空系統

            高真空系統采用高壓強,耐沖擊真空泵,防止意外漏氣造成真空泵損壞,延長系統使用壽命

            剛玉材質爐管

            爐管采用剛玉材質,工作溫度可達1600度,具有高溫穩定性和耐腐蝕性,加熱均勻性好

            技術參數

            名稱 高溫三溫區CVD設備

            型號 KJ-OTF-1700-F5

            加熱系統

            顯示 LED

            最高溫度 1700℃

            工作溫度 ≤1600℃

            升溫速率 建議0~10℃/min

            溫區數量 3

            溫區長度 220mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)

            加熱元件 硅鉬棒

            熱電偶 B型

            控溫精度 ±1℃

            管尺寸 外徑80mm * 長度1400mm

            (其他尺寸可根據客戶需求定制)

            材質:剛玉

            溫度控制 PID自動控制

            溫控方式 30段可編程

            真空計 復合真空計

            真空法蘭 帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭

            真空泵系統

            真空泵組(旋片泵+擴散泵) 冷態極限真空6.67*10-3Pa。

            質量流量計(5氣路)

            流量范圍 (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
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            河南鴻爐機械設備有限公司
            企業認證:
              
            所屬領域:
            材料制備
            企業性質:
            -
            經營范圍:
            -
            聯系電話:
            177-3714-9370
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