設備介紹
KJ-T1200 CVD是一種管式爐,配備60mm直徑高純石英爐管、
真空泵和四通道質量流量計+一個浮子流量計氣體流動系統。它可以混合1-4種氣體用于CVD或擴散。該CVD高溫管式爐主要用于大學,科研機構和生產企業進行氣相沉積相關的實驗與生產。
產品優勢
PID智能溫控
控溫系統采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃
高純石英爐管
爐管采用高純石英材質,耐高溫耐酸堿腐蝕,高透明材質,便于觀察反應情況
雙層殼體上開啟結構
雙層殼體上開啟結構,取放爐管方便,裝有風冷系統,爐子外殼溫度保持安全范圍內
管式爐技術參數
型號 KJ-T1200
顯示 LED
溫度 1200℃
工作溫度 ≤1100℃
升溫速率 建議:0~10℃/min
溫區 300mm + 300mm 雙區
(其他尺寸可根據客戶需求定制)
加熱元件 電阻絲
熱電偶 N型
溫度控制精度 ±1℃
管尺寸 60(外徑) / 52mm(內徑)x 1000mm (長度)
(其他尺寸可根據客戶需求定制)
材質:石英管
溫度控制 通過可控硅功率控制進行PID自動控制
加熱曲線 30 步可編程