吉林有色金屬化學分析技術理論與應用

探測能夠電分解的液體存在及其濃度的方法與裝置 1149     

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本發明公開了探測能夠電分解的液體存在及其濃度的方法與裝置:利用至少兩個電極并在電極之間施加瞬時的間斷的電位差,與供電同步或以某個時間差來測量該電極之間的電磁性能,并由此來判斷液體是否在電極之間存在,如果存在,計算出該液體的某些物理化學性質,比如濃度等。采用這個辦法可以使得液體傳感器的成本大為下降,體積大為縮小,可靠性也大為增加。

大氣激光掩星信號生成與探測設備 979     

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大氣激光掩星信號生成與探測設備，屬于大氣遙感測量技術領域，為解決現有掩星信號生成系統無法測量特征氣體成分和濃度問題，包括頻率與功率穩定電路、量子阱激光器陣列、光束耦合器、光纖隔離器、功率放大器、光學發射天線、第一濾光片、第一準直鏡、第一二維振鏡、第二濾光片、第一耦合透鏡、第一信標光激光器、第二耦合透鏡、第一成像相機、光學接收天線、第三濾光片、第二準直鏡、第二二維振鏡、第四濾光片、第三耦合透鏡、第二信標光激光器、第四耦合透鏡、第二成像相機、第三準直鏡、柱面鏡、衍射光柵、成像反射鏡、成像CCD、信號處理電路和數據反演模塊；該設備在大氣化學、全球氣候變化、軍事戰場飛行器監視等領域具有廣泛的應用前景。

ZnMgO紫外探測器及其制備方法 844     

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本發明提供一種ZnMgO紫外探測器及其制備方法，其中的方法包括：S1、以有機鋅化合物作為鋅源，以有機鎂化合物作為鎂源，以高純氧氣為氧源，利用金屬有機化合物化學氣相沉積法在襯底的表面生長ZnMgO薄膜；S2、在ZnMgO薄膜上使用負膠光刻形成叉指電極掩膜，在叉指電極掩膜濺射金屬后將叉指電極掩膜去除，形成叉指電極；S3、在叉指電極上按壓In粒，得到MSM結構的ZnMgO紫外探測器。與現有技術相比，本發明通過增加氧氣流量、增加氧分壓、減少氧缺陷的方式，使得制備的ZnMgO薄膜具有結晶質量高、不出現分相、吸收截止邊陡峭等特點，混相結構的ZnMgO薄膜2能夠同時滿足高響應度和低暗電流，從而使ZnMgO紫外光電探測器具有更低的暗電流和更高的光響應速度。

銅互連可見-紅外探測器的制備方法 772     

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本發明提供一種銅互連可見?紅外探測器的制備方法，包括：S1、分別在讀出電路和感光層上制備銅柱；S2、分別在讀出電路上的銅柱間的間隙內和感光層上的銅柱間的間隙內填充二氧化硅或氮化硅形成復合層；S3、采用光學對準方法將讀出電路和感光層上的銅柱對準；S4、采用低溫退火方法使讀出電路上的銅柱與感光層上的銅柱鍵合；S5、對鍵合后的感光層進行化學機械拋光，以將感光層的襯底去掉，獲得銅互連可見光?短波紅外探測器。利用上述本發明能夠實現可見光?紅外光的寬光譜探測。

基于GaSb/InSb/InP異質PIN結構的光伏型紅外探測器 1164     

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一種基于GaSb/InSb/InP異質PIN結構的光伏型紅外探測器，屬于紅外探測技術領域。該探測器由下至上依次由背電極、重摻雜的N+型InP襯底、重摻雜的N+型InP電子傳輸層、未摻雜的窄禁帶InSb有源區、重摻雜的P+型GaSb空穴傳輸層以及柵條形上電極)組成。本發明采用低壓金屬有機物化學氣相外延技術，在重摻雜的N+型InP襯底制備相應結構，并利用磁控濺射技術制備上電極和背電極，得到的器件具有探測率高、響應速度快、工作溫度高、制備工藝簡單等特點，在室溫條件下，歸一化探測率D*為2.4×1010cm?Hz1/2W?1，可應用于航天、軍事、工業、民用等領域。

NixMg1-xO短波長紫外光探測材料 864     

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NixMg1-xO短波長紫外光探測材料屬于半導體材料技術領域?，F有GaxAl1-xN材料存在的 不足有，首先，制作薄膜所使用的藍寶石襯底昂貴；其次，需要使用化學氣相沉積等大型、 復雜設備生長，生長溫度也較高，造成了能源的浪費；第三，禁帶寬度調節范圍較小，即 3.4～6.2eV；第四，GaN和AlN晶格失配和離子半徑失配較大，分別為1.8％和15％。本發明 之短波長紫外光探測材料的分子式為NixMg1-xO，0≤X≤1。以石英玻璃為襯底在磁控濺射設備 中制作NixMg1-xO短波長紫外光探測薄膜，所制備的薄膜晶格失配和離子半徑失配很小，分 別為0.7％和5.7％，禁帶寬度為3.6～7.8eV。用來制作短波長紫外光探測器件。

高壓原位阻抗譜測量的電極及其制備方法和應用 1102     

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本發明的高壓原位阻抗譜測量的電極及其制備方法和應用屬于高壓條件下電學量原位測量的技術領域。電極組成有在金剛石壓砧(2)表面和金屬膜電極(1)上沉積的氧化鋁保護層(3);金屬膜電極(1)在金剛石壓砧(2)的砧面中心呈圓形,在金剛石壓砧(2)的側面的金屬膜電極(1)部分粘接銅絲導線(5);金屬墊片(4)作另一個電極,與金屬膜電極(1)一起構成軸對稱的電極體系。采用磁控濺射方法鍍鉬膜、沉積氧化鋁膜、光刻和化學腐蝕的方法制作電極。本發明解決了電極固定以及樣品腔絕緣等問題,可以忽略體系的寄生電容和寄生電感對測量結果的影響,使得高壓下用金剛石對頂砧原位測量物質阻抗譜成為可能。

紅外光電探測器 1057     

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本實用新型屬于一種半導體敏感元件。該探測器用金屬有機化合物化學汽相淀積 (mocvd)技術，在n型襯底上生長一層與襯底晶格匹 配的P型半導體材料為濾光層，然后在濾光層上再 生長一層激活層。這種探測器可廣泛用于測距、夜視 儀、紅外測量及科研中的高精度測量等方面。

pn結MgxZn1-xO薄膜日盲區紫外探測器件 696     

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pn結MgxZn1－xO薄膜日盲區紫外探測器件屬于光電探測技術領域?，F有技術采用MgxZn1－xO薄膜作為光電轉換器件，其光譜響應度有待提高；而雖然pn結MgxZn1－xO薄膜因pn結的雪崩作用而具有很高的轉換效率，但只是被用做電光轉換器件。本發明采用pn結MgxZn1－xO薄膜，底部電極介于襯底與pn結MgxZn1－xO薄膜之間，偏置電壓電極、信號電壓電極位于pn結MgxZn1－xO薄膜上表面且相離，偏置電壓電極與底部電極為pn結MgxZn1－xO薄膜提供偏置電壓，信號電壓電極與底部電極將pn結MgxZn1－xO薄膜產生的信號電壓輸出。該方案應用于200～300nm紫外導彈尾焰探測、紫外告警、化學火焰探測等領域。

在線監測系統 910     

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本實用新型公開了一種在線監測系統，包括層析柱本體，所述層析柱本體的頂部固定連接有加壓泵，所述層析柱本體的表面固定連接有固定套環，固定套環右側的表面從上到下分別固定連接有彈性開關和調節開關，層析柱本體的表面連通有測壓管道，本實用新型涉及化學實驗用儀器技術領域。該在線監測系統，工作時，加壓泵通過連通管道對層析柱本體的內腔進行加壓，內部壓強增加時，氣壓推動測壓管道內的弧形鼓片，帶動滑動桿向上擠壓復位彈簧滑動，滑動桿向上升起推動調節開關轉動，對調節開關的功率進行調節，可以自動對加壓泵的壓力進行調節，能有效的提高分離效率，并且當停止啟動加壓泵時，在復位彈簧的帶動下滑動桿會自動回彈。

實際工況下電池隔膜力-熱-電耦合原位測試系統 1010     

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本發明公開了一種實際工況下電池隔膜力?熱?電耦合原位測試系統，涉及精密儀器技術領域，包括溫控箱、環境模塊、力學加載模塊和多光譜?聲譜監測模塊。環境模塊構造了電化學和低溫環境，力學加載模塊對十字形隔膜試樣進行雙軸靜?動態耦合加載，多光譜?聲譜監測模塊包括光學成像模塊、紅外熱成像模塊和聲發射模塊，用于加載過程的實時監測。本發明通過環境模塊模擬隔膜實際工況，力學加載模塊進行加載，多光譜?聲譜監測模塊中光學成像模塊對隔膜的顯微結構進行動態觀測；紅外熱成像模塊對隔膜的溫度分布進行識別；聲發射模塊實現隔膜裂紋和破損的監測。本發明為揭示力?熱?電耦合下電池隔膜的失效機制及其微觀結構演化行為提供儀器支撐。

自驅動式氧鋅鎂紫外探測器及其制備方法 952     

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本發明涉及一種自驅動式氧鋅鎂紫外探測器及其制備方法，屬于紫外探測技術領域，該制備方法包括：采用金屬有機化學氣相沉積法在襯底上制備氧鋅鎂薄膜層；在步驟一得到的氧鋅鎂薄膜層上通過真空熱蒸發的方法制備出Au電極層；通過濕法刻蝕所述Au膜層制備出多對叉指電極,即如圖所示連接有至少一個第一叉指電極的第一電極和連接有至少一個第二叉指電極的第二電極；所述第一叉指電極與所述第二叉指電極像張開的雙手一樣相互插在一起。本發明的自驅動式氧鋅鎂紫外探測器在紫外波段具有很好的光伏特性，可在不需要外加電源的情況工作，極大的節約了能源,且其0伏響應度高，工作時穩定性好，此外，器件制備工藝簡單，可控性好。

MgZnO納米線陣列紫外光電探測器 811     

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MgZnO納米線陣列紫外光電探測器，采用雙溫區化學氣相沉積方法制備MgZnO納米線陣列，由此獲得MgZnO納米線陣列紫外光電探測器，其響應度高于現有MgZnO納米線紫外光電探測器，屬于半導體光電技術領域。本發明之MgZnO納米線陣列紫外光電探測器下電極位于硅襯底背面，MgZnO納米線分布在硅襯底正面，上電極位于MgZnO納米線上面，并與MgZnO納米線歐姆接觸，其特征在于，所述MgZnO納米線豎直等高、整齊分布，構成MgZnO納米線陣列。本發明用于環境污染監控、火焰光電探測、紫外預警以及通訊等領域。

頸腰康膠囊多成分含量測定方法 769     

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本發明提供一種頸腰康膠囊多成分含量測定方法，包括以下步驟：S1.混合對照品溶液的制備：分別精密稱取士的寧、α?玉柏堿、杠柳毒苷、11?羰基?β?乳香酸、莪術雙環烯酮、羥基紅花黃色素A、柚皮苷、粉防己堿、防己諾林堿、β?蛻皮甾酮，溶解于溶劑中，得到混合對照品溶液，備用；S2.供試品溶液的制備：取頸腰康膠囊，加入溶劑提取，過濾，取濾液，得供試品溶液，備用；S3.含量測定：分別精密吸取對照品溶液與供試品溶液，注入液相色譜儀，測定，即得。該測定方法，測定了頸腰康膠囊中士的寧、α?玉柏堿、杠柳毒苷、11?羰基?β?乳香酸、柚皮苷等10種化學成分的含量，能更好的控制頸腰康膠囊的質量。

十二面體形狀甲胺溴化鉛鈣鈦礦單晶[110]晶面的可控生長方法及其X射線探測器應用 818     

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十二面體形狀甲胺溴化鉛鈣鈦礦單晶[110]晶面的可控生長方法及其X射線探測器應用，屬于X射線探測器技術領域。本發明采用調整投料原料非化學計量比同時控制溶液條件及生長溫度的方法，使鈣鈦礦單晶晶面的生長得以有效調控，體現單晶的各向異性。所得[110]晶面相比立方體形狀暴露的[100]晶面有更低的缺陷態密度、更大的電阻率及更好的載流子傳輸特性。本發明制備的X射線探測器在120keV硬射線下的靈敏度達到3928.3μC/Gy_air/cm²，高于[100]晶面X射線探測器的靈敏度；且在劑量率為8.8μGy_air/s下，相較于醫療成像用CsI閃爍體，表現出較強的信噪比，為設計高性能X射線探測器提供了依據。同時探測器的結構簡單、制作容易。

磷酸鹽近紅外發光測溫材料及其制備方法 901     

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本發明提供了一種磷酸鹽近紅外發光測溫材料，分子式為：A2(1?x)DxP2O7:xCr3+；其中，A選自Mg、Zn、Ca、Sr和Ba中的一種或多種；D選自Li、Na和K中的一種或多種；0.0005≤x≤0.05。本發明提供了一種以磷酸鹽為基質，Cr3+離子為發光中心，一價金屬離子共摻雜的發光測溫材料。與現有技術相比，本發明提供的發光測溫材料可以有效被藍光激發，光轉化效率高，發光可探測性好，在300K至400K范圍內測溫精度可達1.29％/K；同時，該發光測溫材料制備工藝簡單，原料成本低廉，產品化學性質穩定、蓬松非常易研磨，無放射性，不會對環境造成危害。

電池原位測試系統 951     

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本發明公開了一種電池原位測試系統，涉及精密儀器技術領域，包括充放電模塊、環境模塊和力學加載模塊，待測試電池與充放電模塊電連接，環境模塊包括溫控箱，溫控箱內設置有待測試電池、光學成像模塊、紅外熱成像模塊和超聲掃描成像模塊，力學加載模塊用于對待測試電池進行加載。本發明通過環境模塊模擬測試環境，光學成像模塊對待測試電池表面微觀變形或損傷進行觀測；紅外熱成像模塊對待測試電池的溫度畸點的識別以及待測試電池熱失控的進程進行觀測；超聲掃描成像模塊對待測試電池的破損、析鋰以及荷電狀態進行監測。本發明為揭示力?低溫?電化學耦合多外場下電池性能衰退機制和服役壽命變化規律提供儀器支撐。

發光測溫材料及其制備方法 1159     

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本發明涉及溫敏表面發光測溫技術領域，尤其涉及一種發光測溫材料及其制備方法。本發明提供了一種發光測溫材料，具有式(Ⅰ)所示的通式；K3?xNaxLu1?yBiy(VO4)2式(Ⅰ)；其中，0≤x≤1.0，0.001≤y≤0.1。本發明的發光測溫材料以釩酸鹽為基質，Bi離子為發光中心，與現有技術相比，本發明的發光測溫材料可以有效被近紫外光激發，光轉化效率高，發光可探測性好，在25～100℃內最高測溫靈敏度可達1.8％/K。同時，本發明的發光測溫材料制備工藝簡單，原料成本低廉，產品化學性質穩定、蓬松非常易研磨，無放射性，不會對環境造成危害。

基于彩色相機的高溫溫度場分布測試裝置和方法 797     

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本發明公開了一種基于彩色相機的高溫溫度場分布測試裝置和方法，包括光學部分、電學部分和軟件部分；光學部分包括衰減濾光片組和光學鏡頭；電學部分包括彩色相機、數據線和計算機；衰減濾光片組、光學鏡頭和彩色相機依次螺紋連接；彩色相機與計算機電連；待測高溫目標發出光輻射，經衰減濾光片組衰減和濾波，彩色相機上的感光芯片CCD或CMOS，按照R、G、B三基色，將相應波段的光信號轉換成電信號，傳輸到計算機，經軟件部分解析出待測高溫目標的溫度場分布。本發明的測試結果，受待測目標狀態、表面粗糙程度、表面化學特性等因素影響小，能夠實現高溫溫度場分布的高準確度測試，實時精確反應待測目標的溫度場特性。

無機磷測定試劑盒及其制備方法 801     

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無機磷測定試劑盒及其制備方法，涉及無機磷測定領域，用于測定人體樣本中無機磷的含量，以解決現有無機磷測定試劑盒存在的含有酶原料導致試劑盒易失活的問題。本發明的無機磷測定試劑盒包括：濃度為20～500mmol/L的三羥甲基氨基甲烷緩沖液、濃度為0.1～10mmol/L的鉬酸銨溶液、濃度為10～100mmol/L的氯化鈉溶液、濃度為1.0～10ml/L的表面活性劑、濃度為0.5～4.5mmol/L的磷酸鹽溶液。本發明特異性較高，不受內、外源物質的干擾，測試結果精確、準確性好。本發明采用化學方法制備的無機磷測定試劑盒穩定性好，便于長期儲存。

石墨烯增強型InGaAs紅外探測器 963     

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本發明涉及一種石墨烯增強型InGaAs紅外探測器，解決現有紅外探測器探測范圍窄和較高暗電流的技術問題。該石墨烯增強型InGaAs紅外探測器結構為：在襯底上依次生長的緩沖層、擴展波長的InGaAs吸收層、石墨烯蓋層，構成pin探測器結構。本發明公開了在襯底上以兩步法生長失配緩沖層的方法。采用適合金屬有機物化學氣相沉積技術生長又方便控制并且禁帶寬度大于擴展波長InGaAs材料的InAsP或InAlAs三元系材料，可有效避免失配位錯且適合于背面進光的透明緩沖層結構。本發明提出了使用石墨烯作為InGaAs紅外探測器的蓋層來擴展探測范圍和降低暗電流的方法，實現對探測器性能的提高，具有廣泛的應用前景。

鋅鎵氧紫外探測器及其制備方法 995     

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本發明提供了一種ZnGa₂O₄紫外探測器，包括依次復合而成的襯底、ZnGa₂O₄薄膜以及金屬叉指電極；所述ZnGa₂O₄薄膜以有機鋅化合物作為鋅源，有機鎵化合物作為鎵源，以高純氧氣為氧源，利用金屬有機化合物化學氣相沉積法在襯底表面沉積得到。本發明使用金屬有機化合物化學氣相沉積法制備ZnGa₂O₄薄膜，通過增加氧氣流量，增加氧分壓，減少氧缺陷，使制備得到的ZnGa₂O₄薄膜層具有結晶質量高，不出現分相，吸收截止邊陡峭等特點，進而使包含ZnGa₂O₄薄膜層的紫外探測器具有較低的暗電流，較高的響應度。

ZnMgO紫外探測器 1105     

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本發明提供了一種ZnMgO紫外探測器，包括：ZnMgO薄膜層；所述ZnMgO薄膜層的晶體結構為立方相；所述ZnMgO薄膜層按照以下方法制備：以有機鋅化合物作為鋅源，有機鎂化合物作為鎂源，在通入氧氣的金屬有機化合物化學氣相沉積設備中生長ZnMgO薄膜層。與現有技術相比，本發明使用金屬有機化合物化學氣相沉積法制備ZnMgO薄膜，其氣流與襯底平行，且生長溫度較低，使制備得到的ZnMgO薄膜層具有結晶質量高，不出現分相，吸收截至邊陡峭等特點，進而使包含ZnMgO薄膜層的紫外探測器具有較好的光效應能力，無需調解ZnMgO薄膜層的光吸收截止邊即可調節器件的光響應截止邊，而且制備工藝簡單，反應過程容易控制。

MgGa₂O₄紫外探測器及其制備方法 954     

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本發明提供一種MgGa₂O₄紫外探測器及其制備方法，其中的方法包括：S1、以有機鎂化合物作為鎂源，有機鎵化合物作為鎵源，以高純氧氣為氧源，利用金屬有機化合物化學氣相沉積法在襯底的表面生長MgGa₂O₄薄膜；S2、在MgGa₂O₄薄膜上使用負膠光刻形成叉指電極掩膜，在叉指電極掩膜濺射金屬后將叉指電極掩膜去除，形成叉指電極；S3、在叉指電極上按壓In粒，得到MSM結構的MgGa₂O₄紫外探測器。與現有技術相比，本發明使用金屬有機化合物化學氣相沉積法制備MgGa₂O₄薄膜，通過增加氧氣流量、增加氧分壓、減少氧缺陷的方式，使得制備的MgGa₂O₄薄膜具有結晶質量高、不出現分相、吸收截止邊陡峭等特點，進而使包含MgGa₂O₄薄膜的紫外探測器具有較低的暗電流和較快的光響應速度。

促甲狀腺素測定試劑盒及其制備方法 887     

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本發明公開了一種促甲狀腺素測定試劑盒及其制備方法，試劑盒包括以下試劑：試劑R1、鏈霉親和素磁顆粒溶液；試劑R2、化學發光標記物標記的促甲狀腺素抗體；試劑R3、生物素標記的促甲狀腺素抗體；其中，R1所述的鏈霉親和素磁顆粒的質量百分比是0.07％～0.2％，粒徑大小為1～3μm；R2中促甲狀腺素抗體與化學發光標記物的摩爾比是1：1.5～1：10；R3中促甲狀腺素抗體與生物素的摩爾比是1：5～1：50。本發明具有高靈敏度、高特異性、無需催化劑、標記結合物穩定、無放射性同位素損傷和污染、發光用時少等優點，發光強度穩定，反應速度快且與抗體連接后不會對待測物的結合產生影響，特異性高。

測量擾動膠體溶液前向光散射的裝置 908     

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本實用新型公開了一種測量擾動膠體溶液前向光散射的裝置，屬于光學測量技術領域，包括激光器、化學反應容器、帶通濾光片、雪崩二極管及計算機；所述的激光器所發出的激光束依次經過第一偏振器和第一小孔徑光欄，然后通過第一反射鏡將光束照射到化學反應容器上，受到納米粒子散射的激光束再經過第二全反鏡形成被反射的散射激光束，被反射的散射激光束在經過第二小孔徑光欄形成光束，光束再經過第二偏振器照射至帶通濾光片上，后由雪崩二極管收集轉變為電信號，再由信號放大器進行放大和模數轉換，最后由計算機采集并處理來自信號信號放大器的數字信號。該裝置通過分離和測量前向散射光，實現了對膠體溶液中成核、結晶和晶核生長過程的實時監測。

基于相變誘導的分層過渡族金屬氧化物電極超級電容器的制備方法和測試方法 854     

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本發明公開了基于相變誘導的分層過渡族金屬氧化物電極超級電容器的制備方法和測試方法。在制備過程中，相變誘導的分層過渡族金屬氧化物電極的制備是通過將模板自組裝和電化學沉積技術結合制得過渡族金屬氧化物導電骨架，隨后連續兩步熱處理分別實現去模板和氧空位的引入，將制備的分層過渡族金屬氧化物電極對稱安裝在隔膜兩側制得超級電容器；在測試過程中將組裝好的超級電容器直接浸入1mol/L Na2SO4溶液中進行電化學測試。本發明所述的超級電容器的制備方法和測試方法簡單，易操作，所制得的超級電容器具有功率密度高、能量密度大、循環穩定性良好等特點。

熒光測溫材料及其制備方法 1144     

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本發明提供的熒光測溫材料，所述熒光測溫材料的化學式為：M_1?x?yTi_xLn_yO₂，其中，M選自Zr或Hf中的至少一種或兩種，Ln選自Eu或Sm中至少一種，0<x≤0.05，0<y≤0.05，本發明提供的熒光測溫材料利用MO₂(M為Zr或Hf中的一種或兩種)氧化物作為摻雜離子(Ti,Eu,Sm)的基質，該化合物物理化學性質穩定，在氧氣、潮濕及相對高的溫度環境下，無變質，適于長時間高溫操作，制備工藝簡單，對環境友好。另外，本發明還提供了熒光測溫材料的制備方法。

制備太陽盲紫外探測器的方法 740     

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本發明涉及紫外探測器的制備方法，特別是一種制備太陽盲紫外探測器的方法，采用金屬有機化學氣相沉積法在藍寶石襯底上制備氧鋅鎂膜層，在該氧鋅鎂膜層上再蒸鍍Au膜層，用濕法刻蝕Au膜層制備出叉指形電極，所述的氧鋅鎂膜層是在以下工藝條件下獲得的具有單一立方相的、其吸收邊從220nm到260nm的MgZnO薄膜：生長溫度為300℃～500℃，生長室真空度為2×104Pa，載氣為99.9999％高純氮氣，以二茂鎂作為鎂源，二乙基鋅作為鋅源，通過流量控制使生長室中的Zn、Mg摩爾濃度比為Zn/Mg＝0.4～1，氧氣壓力為2.5×105Pa、流量為550ml/min。本發明方法所獲得的立方相MgZnO合金薄膜，不出現分相，具有很好的重復性；其紫外/可見抑制比大于3個量級，光響應截止邊在230－280nm連續可調。

ZnMgGaO紫外探測器及其制備方法 1033     

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本發明提供一種ZnMgGaO紫外探測器及其制備方法，其中的方法包括：S1、以有機鋅化合物作為鋅源，以有機鎂化合物作為鎂源，有機鎵化合物作為鎵源，以高純氧氣為氧源，利用金屬有機化合物化學氣相沉積法在襯底的表面生長ZnMgGaO薄膜；S2、在ZnMgGaO薄膜上使用負膠光刻形成叉指電極掩膜，濺射金屬后將叉指電極掩膜去除，形成叉指電極；S3、在叉指電極上按壓In粒，得到MSM結構的ZnMgGaO紫外探測器。與現有技術相比，本發明使用金屬有機化合物化學氣相沉積法制備ZnMgGaO薄膜，通過增加氧氣流量、增加氧分壓、減少氧缺陷的方式，使得制備的ZnMgGaO薄膜具有結晶質量高、不出現分相、吸收截止邊陡峭等特點，進而使包含ZnMgGaO薄膜的紫外探測器具有較低的暗電流和較快的光響應速度。