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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創新研討會”！2024-08-05
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?內蒙古地礦集團技術需求、采購需求內容摘要，誠邀參加對接！2023-09-13
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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最新報告

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二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
絡合-剪切誘導解絡-超濾分離稀土

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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
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譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

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ZnMgGaO紫外探測器及其制備方法

1034 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:27:46

本發明提供一種ZnMgGaO紫外探測器及其制備方法，其中的方法包括：S1、以有機鋅化合物作為鋅源，以有機鎂化合物作為鎂源，有機鎵化合物作為鎵源，以高純氧氣為氧源，利用金屬有機化合物化學氣相沉積法在襯底的表面生長ZnMgGaO薄膜；S2、在ZnMgGaO薄膜上使用負膠光刻形成叉指電極掩膜，濺射金屬后將叉指電極掩膜去除，形成叉指電極；S3、在叉指電極上按壓In粒，得到MSM結構的ZnMgGaO紫外探測器。與現有技術相比，本發明使用金屬有機化合物化學氣相沉積法制備ZnMgGaO薄膜，通過增加氧氣流量、增加氧分壓、減少氧缺陷的方式，使得制備的ZnMgGaO薄膜具有結晶質量高、不出現分相、吸收截止邊陡峭等特點，進而使包含ZnMgGaO薄膜的紫外探測器具有較低的暗電流和較快的光響應速度。

登錄解鎖全文

聲明：

“ZnMgGaO紫外探測器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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化學分析

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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10 制樣室裝修設計技巧

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