本發明涉及紫外探測器的制備方法,特別是一種制備太陽盲紫外探測器的方法,采用金屬有機化學氣相沉積法在藍寶石襯底上制備氧鋅鎂膜層,在該氧鋅鎂膜層上再蒸鍍Au膜層,用濕法刻蝕Au膜層制備出叉指形電極,所述的氧鋅鎂膜層是在以下工藝條件下獲得的具有單一立方相的、其吸收邊從220nm到260nm的MgZnO薄膜:生長溫度為300℃~500℃,生長室真空度為2×104Pa,載氣為99.9999%高純氮氣,以二茂鎂作為鎂源,二乙基鋅作為鋅源,通過流量控制使生長室中的Zn、Mg摩爾濃度比為Zn/Mg=0.4~1,氧氣壓力為2.5×105Pa、流量為550ml/min。本發明方法所獲得的立方相MgZnO合金薄膜,不出現分相,具有很好的重復性;其紫外/可見抑制比大于3個量級,光響應截止邊在230-280nm連續可調。
聲明:
“制備太陽盲紫外探測器的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)