本發明涉及一種微條氣體室探測器復合基板的制造方法,它是采用射頻等離子體輔助化學氣相沉積法由D263玻璃上沉積類金剛石膜而制成。對光學玻璃D263預處理,放入高真空反應室中沉積,然后在氮氣氣氛爐中退火處理而制得復合基板。本發明通過施加偏壓、增加磁場和退火處理來獲得高質量類金剛石膜/D263玻璃復合基板,可克服薄膜與襯底應力大、結合力差等問題,使探測器電荷積累效應小和基板穩定性好。本發明制作工藝簡單、制作周期快、成本低廉和實用性強。
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