本發明屬于濺射靶材技術領域,具體涉及一種平面銅靶材的制備方法及應用其的磁控濺射方法,步驟S1:制備高純無氧銅桿;步驟S2:連續擠壓所述無氧銅桿以形成坯料,并在擠壓過程中對所述坯料進行防氧化保護;步驟S3:待所述坯料冷卻至室溫后進行單道次低變形量拉拔操作,控制拉拔變形量為1.5%?3%,控制拉拔變形溫度在300℃?500℃;步驟S4:重復上述步驟S2和步驟S3至少兩次;步驟S5:對坯料進行矯直操作;步驟S6:對坯料進行機加工操作,制成銅靶材;
本實用新型公開一種銅套加工鉆孔裝置,包括鉆孔箱、穩定移動機構、鉆孔機構、打磨機構和夾持轉動機構,鉆孔箱內上方中間固定設有滑軌,滑軌下方滑動設有電動滑塊,電動滑塊下方固定設有移動板,移動板前后兩側設有滑桿,滑桿與鉆孔箱內部固定連接,移動板前后固定設有滑動套筒,移動板下方一側固定設有鉆孔機構,移動板下方另一側固定設有打磨機構,鉆孔箱內下方中間設有夾持轉動機構;本實用新型通過滑動套筒與滑桿滑套配合限位,避免了移動板將振動傳遞至電動滑塊影響電動滑塊的使用壽命,并起到導向作用,通過第一電動伸縮桿和第二電動伸縮桿對稱固定在移動板下方交替伸縮實現鉆孔和打磨的快速切換,穩定架保持打磨盤穩定,保證打磨效果。
本發明公開了一種高品質銅錫粉的制備方法,包括如下步驟:第一步,銅粉和錫粉進行篩分處理;第二步,篩分處理后的銅粉和錫粉進行攪拌處理,得到銅錫粉。所述銅粉、錫粉都是通過熔融霧化制備。所述銅粉的成分占比是88wt%?92wt%。所述錫粉的成分占比是8wt%?11wt%。銅錫粉的檢驗內容包括粉末流速、松裝密度、成型密度;所述粉末流速不超過45s/50g,所述松裝密度是2.85g/cm3?2.95g/cm3,所述成型密度是6.0g/cm3?6.6g/cm3。本發明的制備方法簡單,制備成本低,便于推廣。
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