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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            帶蒸發器定制款CVD系統

            帶蒸發器定制款CVD系統

            198
            規格/型號:鴻爐機械
            品牌:鴻爐機械
            應用領域:材料制備
            產地:河南 - 鄭州
            廠家/供應商:河南鴻爐機械設備有限公司
            咨詢電話::KJ-T1600-CVD(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-07-24
            級別:待認證

            帶蒸發器定制款CVD系統說明介紹

            帶蒸發器定制款CVD系統

            設備介紹

            該設備由蒸發器、混合器和反應器組成。采用氧化纖維耐火材料。設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,30段可編程溫控系統,氣路選用液晶屏觸摸界面,使得操作異常簡單、方便設置各項技術參數。該CVD高溫爐廣泛應用于半導體工業中,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料等的鍍膜,該CVD鍍膜設備可在目標材料表面形成密集的HfCl4涂層.適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環??茖W等領域。
            產品優勢

            PID控溫系統

            控溫系統采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃

            觸屏操作方式

            氣路選用液晶屏觸摸界面,使得操作異常簡單、方便設置各項技術參數

            專利技術法蘭

            專利技術快接法蘭,帶閥門和相關接口,拆裝方便,可抽真空充保護氣體至微正壓

            技術參數

            產品名稱 CVD系統

            產品型號 KJ-T1600-CVD

            第一部分: 定制坩堝爐(蒸發系統)

            使用溫度 超過500℃

            工作區尺寸 Φ150 x H320mm(不銹鋼內膽的有效尺寸)

            (其他尺寸可根據客戶需求定制)

            坩堝 不銹鋼材質,形式及具體要求可定制

            加熱元件 電阻絲

            升溫速率 0-10°C/min

            漏率 20Pa/min

            第二部分:定制小管式爐(混氣系統)

            使用溫度 超過500℃

            工作區尺寸 Φ150 x H200mm(不銹鋼內膽尺寸)

            (其他尺寸可根據客戶需求定制)

            混氣罐 不銹鋼

            加熱元件 電阻絲

            漏率 20Pa/min

            第三部分 1600度管式爐(反應器)

            最高溫度 1600℃

            長期工作溫度 1500℃

            爐管尺寸 OD100/ID90,加熱區300mm

            (其他尺寸可根據客戶需求定制)

            爐管材質 高純氧化鋁管

            加熱元件 硅鉬棒

            漏率 20Pa/min

            真空度 抽真空度到-7*10-3Pa

            壓力范圍不超過0.02MPa

            更多參數可根據需求定制
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            河南鴻爐機械設備有限公司
            企業認證:
              
            所屬領域:
            材料制備
            企業性質:
            -
            經營范圍:
            -
            聯系電話:
            KJ-T1600-CVD
            詳細地址:
            -

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