工作原理
SSR300+采用電感式位移傳感技術,通過金剛石觸針以4mN恒定測力輕觸被測表面,觸針隨表面微觀起伏產生微米級位移,驅動內置高精密電感傳感器實時捕捉位移信號。信號經DSP芯片進行數字濾波、參數計算及曲線擬合,直接輸出Ra、Rz、Rq等16項粗糙度參數及輪廓曲線。其創新的無導頭設計摒棄傳統導軌結構,通過高剛性氣浮軸承與閉環伺服控制系統實現觸針的精準直線運動,消除導軌摩擦誤差,確保0.025μm至0.100μm小值粗糙度的測量線性度誤差≤±1.5%,平晶值重復性≤0.01μm。
應用范圍
精密加工:檢測軸承套圈、齒輪、液壓閥體等零件的表面光潔度,評估磨削、拋光工藝質量;
汽車電子:驗證發動機缸體、傳感器外殼、連接器觸點的耐磨性,確保接觸可靠性;
航空航天:分析渦輪葉片、結構件的高溫合金表面完整性,滿足嚴苛的疲勞壽命要求;
半導體制造:測量晶圓、芯片載板的表面平整度,優化化學機械拋光(CMP)工藝。
技術參數
測量范圍:Ra 0.005-16μm,Rz 0.02-160μm;
分辨率:0.001μm(±20μm量程);
取樣長度:0.25mm、0.8mm、2.5mm可選;
驅動速度:0.135-1mm/s(自動匹配取樣長度);
濾波方式:RC、PC-RC、GAUSS、D-P四種國際標準濾波器;
兼容標準:ISO、DIN、ANSI、JIS四大國際規范。
產品特點
無導頭創新設計:消除導軌摩擦干擾,小值粗糙度測量穩定性提升30%;
高精度傳感器:采用500um大量程電感傳感器,支持劃痕深度同步檢測;
智能化操作:7英寸彩色觸摸屏實時顯示參數與輪廓圖形,支持USB數據導出及打印機直連;
模塊化擴展:可選配波紋度測量模塊、支承率曲線分析軟件,實現“一機多用”。