激光平面度測量儀

工作原理

設備采用雙激光組件對稱布局，生成兩束夾角相同的平面激光投射至被測表面。若表面為理想平面，兩束激光重合；若存在凹凸缺陷，激光線產生位移間距。光電識別系統實時捕捉激光線圖像，通過運算模塊分析間距與夾角，精確計算凹坑深度或凸起高度，測量精度達0.4μm。其核心優勢在于將傳統線接觸檢測轉化為點接觸式動態掃描，配合高精度C5導軌與三維形貌評估軟件，可快速生成峰峰值、均方根值等平面度指標報告。

應用范圍

精密電子：檢測手機玻璃、芯片封裝表面的平整度，確保光學性能與密封性；

汽車工業：評估噴油嘴、泵閥密封件的平面度誤差，驗證熱處理工藝效果；

航空航天：測量航空儀表盤、渦輪葉片等關鍵部件的表面形變，保障飛行安全；

光學工程：檢測光學平板、棱鏡的微小楔角與折射率均勻性，支持高精度光學系統組裝。

技術參數

測量范圍：X/Y軸1500×1200mm，Z軸±48mm；

重復精度：單點重復性≤0.005mm，整機重復性≤0.01mm；

掃描速度：單次掃描寬度62mm，3秒內完成單件檢測；

分辨率：0.01μm（參考平面），檢測精度0.015mm；

環境適應性：工作溫度20±5℃，濕度45%-75%，配備防塵去污裝置。

產品特點

高效智能：搭載3個激光頭，檢測效率提升3倍，支持雙工位替換玻璃面板；

兼容性強：可測量4.5-10寸產品，預留自動化接口，后期可升級機械手上下料；

數據互通：支持CSV格式輸出，無縫對接SPC、ERP管理系統，實現質量追溯；

操作便捷：液晶屏實時顯示OK/NG結果，配備定位栓固定夾具與滑輪底座，適應產線快速切換。