帶液體氣化器的滑動 PECVD 管式爐
應用
KT-PE12 帶液體氣化器的滑動 PECVD 系統由一個 500W 射頻等離子源、一個 TF-1200 滑動爐、4 個 MFC 氣體精確控制單元和一個標準真空站組成。爐腔軌道滑動系統,可實現快速加熱和快速冷卻,可選配輔助強制空氣循環風扇,加快冷卻速度;可選配滑動自動工作裝置;最高工作溫度可達 1200℃。工作溫度最高可達 1200℃,爐管為一根直徑 60 毫米的石英管;4 通道 MFC 質量流量計,氣源為 CH4、H2、O2 和 N2;真空站為一臺 4L/S 旋片
真空泵,最大真空壓力可達 10P。真空壓力可達 10Pa。
優勢
射頻等離子體自動匹配源,5-500W 寬輸出功率范圍,輸出穩定
高速加熱和短時間冷卻的爐腔滑動系統,可提供輔助快速冷卻和自動滑動功能
PID 可編程溫度控制,控制精度高,支持遠程控制和集中控制
高精度 MFC 質量流量計控制,源氣預混,供氣速度穩定
不銹鋼真空法蘭,多種適配接口,滿足不同真空泵站設置,密封性好,真空度高
CTF Pro 采用一個 7 英寸 TFT 觸摸屏控制器,程序設置和歷史數據分析更友好
安全優勢
Kindle Tech 管式爐具有過流保護和過溫報警功能,爐子會自動關閉電源
管式爐內置熱耦合檢測功能,一旦檢測到破損或故障,管式爐將停止加熱并報警
PE Pro 支持斷電重啟功能,故障后接通電源時,窯爐將恢復窯爐加熱程序
技術規格