設備介紹
PECVD旋轉管式爐系統適用于粉體材料的表面薄膜沉積。系統由高功率射頻電源(500W，13.56MHz)、真空系統、旋轉管式爐組成。該設備是為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，環境溫度在100-300℃，但反應氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應物的活性，這些具有反應活性的中性物質很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發生非平衡的化學反應沉積生成薄膜，因此這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法。PECVD淀積的薄膜具有良好的電學性能、良好的襯底附著性以及非常好的臺階覆蓋性，正由于這些優點使其在大規模集成電路、光電器件、MEMS等領域具有廣泛的應用。
產品優勢
成品質量好
PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點
爐管可旋轉
爐管采用定制變徑爐管，管壁內帶有石英撥料臺，讓物料受熱更充分。爐管360℃旋轉，旋轉速度可調
可通保護氣氛
法蘭上帶有進出氣旋轉接頭，可以通入氮氣、氬氣等惰性保護氣體，可在氣氛環境下使用
安全防護功能
安全防護，具有超溫保護功能，當溫度超過允許設定值后，自動報警保護功能，操作安全可靠
沉積效果好
等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜
智能多段PID可編程
溫控系統采用PID智能化程序控溫，自整定功能并可編制多段升降溫程序
技術參數
產品名稱 PE旋轉管式爐
產品型號 KJ-TX1100-S50LK1
爐管尺寸 兩端直徑約Φ30mm，中間尺寸Φ50mm 總長約1200mm
(其他尺寸可根據客戶需求定制)
加熱區 200mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)
爐管材質 石英爐管
工作溫度 ≤1000℃
最高溫度 1100℃
加熱元件 合金加熱絲
控溫精度 ±1℃
加熱速率 建議10℃/min，可根據實驗工藝進行調節
溫度測試元件 N型熱電偶
控溫系統 采用智能化多段PID可編程控制
溫度控制系統采用人工智能調節技術，具有 PID 調節、自整定功能并可編制多段升降溫程序;
1、采用PID 方式調節控溫，可設置多段升降溫程序
2、控溫精度±1oC
3、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷
4、儀表具有溫度自整定的功能
密封方式 采用磁流體和真空法蘭的密封方式，密封效果更好
旋轉速率 15rpm/min 可調
旋轉結構 旋轉方式，爐管可以360℃旋轉，爐體可傾斜
真空系統 1、采用旋片
真空泵,冷態極限真空度可達10Pa，真空泵含粉塵過濾器
2、KF快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連;
3、數顯真空計顯示
等離子電源系統 功率范圍 0-500W(連續可調)
工作頻率 13.56MHZ+0.005%
工作模式 連續輸出
冷卻方式 風冷
售后服務 12個月質保、終身保修(加熱元件、爐管等隨機贈送配件不屬于質保范圍)
注意事項 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
· 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，使用時會更加精確安全
· 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態
· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
· 石英管的長時間使用溫度<1100℃
不得通入氯化物、硫化物等易腐蝕性氣體，易造成法蘭等不銹鋼件的損壞
對于樣品加熱的實驗
不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。
若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數
若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生(如爐管破裂，法蘭飛出等)
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湖南 - 長沙
2025年08月07日 ~ 09日
