工作原理
FPANF-AFT-KP150采用光杠桿式原子力顯微技術,通過微懸臂探針掃描樣品表面。當探針針尖與樣品接近時,原子間作用力導致懸臂彎曲,激光照射懸臂背面并反射至高精度光電探測器,通過檢測激光位移變化獲取表面形貌數據。設備支持接觸模式、輕敲模式及力曲線測量,可適配不同樣品特性與檢測需求。
應用范圍
該設備廣泛適用于半導體、材料科學、生物醫學及精密制造等領域,主要用于:芯片表面缺陷檢測與薄膜厚度測量;金屬、陶瓷、高分子材料的納米級形貌分析;生物樣本(如細胞、DNA)的表面結構觀察;以及納米材料研發、摩擦學研究及工業產品表面質量控制。
產品技術參數
最大掃描范圍:XY軸150μm×150μm,Z軸15μm
XY軸分辨率:0.1nm(亞納米級)
Z軸噪聲水平:<0.05nm
掃描速度:0.1-50Hz(可調)
探針類型:氮化硅/金屬鍍層探針(可選)
工作環境:溫度15-35℃,濕度<70%RH
外形尺寸:800×650×800mm
電源:AC220V±10%, 50Hz
產品特點
高穩定性架構:采用工業級大理石基座與主動抗震系統,適配實驗室與生產線環境。
智能化軟件:內置自動調平、焦點追蹤及數據分析模塊,支持3D形貌重建與統計計算。
多功能擴展:可選配導電探針、高溫樣品臺(最高300℃)及液體環境檢測模塊。
超精密度成像:亞納米級分辨率,可清晰捕捉表面缺陷與納米結構細節。
用戶友好界面:10.1英寸觸控屏集成控制,數據可導出為3D圖像、輪廓曲線及力學曲線報告。