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鍵合設備的晶圓傳送位置監控方法

979 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:08:40

本發明提供一種鍵合設備的晶圓傳送位置監控方法，包括：提供兩片晶圓；對其中一片晶圓的邊緣進行修邊處理，以在該片晶圓的邊沿向內形成預定寬度的環形凹槽；在該片晶圓的環形凹槽所在表面生長氧化層且不覆蓋環形凹槽；對氧化層進行化學機械研磨減薄及表面平整化處理；對減薄及表面平整化的氧化層進行表面清洗；在鍵合設備上將該片晶圓與另一片晶圓通過經清洗后的氧化層進行鍵合形成鍵合晶圓；對鍵合晶圓進行退火處理；對退火后的鍵合晶圓進行超聲波掃描顯微鏡檢測，通過鍵合晶圓的夾槽寬度是否相同，判斷鍵合設備上傳送的兩片晶圓的相對位置是否發生偏移，以對鍵合設備的晶圓傳送位置進行監控。本發明能夠對鍵合設備的晶圓傳送位置進行監控。

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聲明：

“鍵合設備的晶圓傳送位置監控方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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