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            BOE廢液在線再生的方法

            923   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 02:39:28
            本發明提出了一種BOE廢液在線再生的方法,包括:BOE廢液與氨或堿反應;再經過雙極膜電滲析膜組處理;濃縮并精制為超純氨水;將氫氟酸稀液蒸餾提濃后,與超純濃硫酸混合,得到氟化氫氣體和稀硫酸;稀硫酸用電滲析分離為超純稀硫酸和廢液,再經過加熱濃縮為超純濃硫酸和廢水,超純濃硫酸在本系統回用,廢液和廢水去污水處理站;氟化氫氣體提純,得到超純氫氟酸溶液;與超純氨水按照比例配制為BOE原液,加入表面活性劑后,回到半導體產線。本發明在線再生BOE廢液,真正實現了變廢為寶,循環經濟,綠色環保的價值取向,適合工業化推廣應用。
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