本發明涉及工業廢料處理技術領域，具體涉及一種銅氨廢液處理方法。
背景技術：
銅蝕刻行業中，會產生大量銅蝕刻廢液。通過再生技術可將大部分銅蝕刻廢液得以回收利用。但生產過程中仍有不少銅廢液需要進入污水處理系統進行處理。含銅廢水中的銅含量很高，直接排放不僅對環境造成污染，而且浪費資源，因此需要對含銅廢水進行處理，通過技術手段對銅進行回收利用，水質達標后再進行排放。而現有技術對于這種重金屬離子廢液的處理一般采用化學沉淀法或吸附法等。由于半導體行業產生的銅廢水量比較大，而銅酸中含有雙氧水和少量的銅，銅離子對雙氧水分解起到了催化作用，所有具有爆炸的危險性，另外銅酸中含有胺添加劑及安定劑，氣味難以徹底去除，從環保、經濟等方面考慮我們著手于此銅蝕刻液廢水的回收處理技術，為企業減輕處置壓力和處置費用。因此，從形成半導體裝置的銅布線的濕法蝕刻工序，排出含有來自該蝕刻液的過氧化氫、磷酸根離子和有機胺的銅蝕刻廢水，進一步在銅蝕刻廢水中含有被蝕刻的銅，其中一部分銅與蝕刻液中螯合劑形成絡合物。
現有技術中，含銅廢水處理技術包括有化學沉淀法、電解法、離子交換法、重金屬螯合劑、膜分離法和置換法等，不同的含銅廢水處理技術有各自的特點。由于過氧化氫濃度高的銅蝕刻廢液，進行水處理較困難，因此，稀釋后作為工業廢棄物進行處理，但是如過氧化氫濃度高時，則在工業廢棄物處理時有爆炸的危險性，即使供為廢液處理時，仍然需要預先將過氧化氫加以處理。
現有技術中過氧化氫的處理方法，一般使用：活性炭、過氧化氫酶(catalase)、錳催化劑(manganesecatalyst)等，但是如過氧化氫濃度在超過1000mg/l時，則有催化劑性能的低落或催化劑使用量增大等問題。因此，如對過氧化氫濃度為1wt%以上的銅蝕刻廢液，適用此種處理方法時，在工業上實際使用中成本過高。
另外，采用離子交換法將形成絡合物的銅處理至排水標準以下時，由于處理所用鎂化合物使用量較多，存在處理成本增加、產生污泥量多等問題。并且使用的鎂化合物也與氟化物離子、磷酸反應，如果廢水中含有氟化物、磷酸根離子，則鎂使用量進一步增多，致使氫氧化鎂的污泥量加大等問題。
技術實現要素：
為了解決現有技術中處理含銅廢水時成本大和易發生爆炸的技術問題，本申請提供一種銅氨廢液處理方法，具體包括：
一種銅氨廢液處理方法,包括以下步驟：
向調節池中加堿性試劑調節
聲明：
“銅氨廢液處理方法與流程” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
443
編輯：中冶有色網
來源：陜西高科環?？萍加邢薰?nbsp;
分享 0
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
2025年07月24日 ~ 26日 
