本發明公開了一種防止探針卡燒針的方法,在對樣品進行失效分析的測試過程中,進行如下步驟:第1步,對樣品進行開短路測量;第2步,進行電源短路預測量,判斷電源短路預測量的失效情況;第3步,進行電源短路測量,并判斷電源短路測量的失效情況;第4步,進行上電功能測試。本發明所述的防止探針卡燒針的方法,在常規的失效分析方法中,增加電源短路預測量以及電源短路測量步驟,將有短路特征的芯片首先篩選出來,后續測試避開這些短路的芯片,能有效防止探針卡燒針。
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