本發明公開了一種集成后偏移量的測量方法,所述方法包括如下步驟:在第一、第二待集成襯底上分別設置鍵合偏差測試矩陣,測試矩陣中布置有鍵合結構和與鍵合結構一一對應并相連的金屬布線;采用直流測試設備分別對測試矩陣里的鍵合結構進行直流測試,得到鍵合導通結果;根據測試矩陣中的鍵合導通結果,得到集成后偏移量的偏離方向和偏離數值。本發明的測量方法能夠提高鍵合偏差的測試準確性和便捷性,減少失效分析時間,增加工藝監控質量,為三維異質異構集成工藝的良率提升和成本降低提供保障。
聲明:
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