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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創新研討會”！2024-08-05
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?內蒙古地礦集團技術需求、采購需求內容摘要，誠邀參加對接！2023-09-13
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?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
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材料行業
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
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物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
最新會議

第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

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?“2023有色金屬分析檢測優秀儀器供應商”表彰活動2023-11-22
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?創想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

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最新會議

2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025第三屆全國金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會
第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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漿態床加氫設備外排油渣中鉬和釩的回收工藝研究
二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
普魯士藍類似物光生電荷傳輸機制及光催化析氫性能研究

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最新報告

微流控技術在工業廢水在線監測中的應用與創新
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基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
廢酸資源化處置利用概述
選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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最新報告

選擇性溶解分離法在原子光譜分析中的應用
熱分析和熱物性檢測技術在鋰電池行業的應用
鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質檢及倉單生成流程
譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

熱門報告

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最新報告

2025年電解鋁行業形勢分析
陰極糊和電解槽壽命的關系淺述，及綠色糊的展望
鋁酸鈉溶液多組分濃度變速滴定儀研制
鋁電解槽新型陽極鋁導桿材料的開發技術探討
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> 硅基底多層線圈結構的微型渦流傳感器

硅基底多層線圈結構的微型渦流傳感器

1312 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:58:43

本發明涉及一種硅基底多層線圈結構的微型渦流傳感器，屬于微傳感器領域，用于金屬構件表面微裂紋檢測。該傳感器基于200μm厚的三寸硅基片由單層激勵線圈、多層檢測線圈以及導通層和絕緣層構成。每兩層檢測線圈成反向螺旋環繞通過中心導線柱串聯導通，保證其中感應電流流向一致增強檢測信號；檢測線圈和激勵線圈之間填充二氧化硅絕緣層。檢測線圈截面尺寸為10μm×10μm、20μm×15μm、30μm×15μm三種且每個線圈均為10匝，對應激勵線圈截面尺寸為140μm×20μm、290μm×20μm、430μm×20μm且均為單匝。電感線圈呈方形和圓形兩種平面螺旋并根據形狀及尺寸呈矩陣式分布以增加檢測面積提高檢測效率。本發明是基于微機電系統MEMS通過UV-LIGA為精密加工工藝，具有結構纖薄、微小化、靈敏度高、效率高的優點，適合金屬工件表面微缺陷的無損檢測。

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聲明：

“硅基底多層線圈結構的微型渦流傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

下載:91

10 制樣室裝修設計技巧

下載:89

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