本發明公開了一種基于單對電極電容成像檢測技術提離效應的缺陷判別方法,涉及無損檢測信號處理領域,包括:接收輸入的單對電極電容成像n次提離檢測信號,對所述Ln提離下求缺陷判別畸變率信號ΔYn=(Yn?Ybn)/Ybn,并將所述畸變率信號ΔYn輸入到低通濾波器;判斷低通濾波器輸出的ΔYn的絕對值是否大于等于預設閥值P0;如果是,判斷有缺陷存在;如果否,判斷缺陷不存在;當缺陷存在,判斷所述ΔYn是否小于0;如果是,判斷缺陷為非導體層表面缺陷;如果否,判斷ΔYn是否大于ΔYn?1;如果是,判斷缺陷為非導體層內部缺陷;如果一直不存在ΔYn大于ΔYn?1,判斷缺陷為分界面缺陷。本發明通過對多提離檢測信號進行處理,進一步實現實時判別缺陷類型和實現報警。
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