本發明公開了一種面壁材料3D微區燃料滯留無損定量分析方法。首先,四維可移動樣品加熱模塊對被測樣品進行加熱,溫度在300K到1300K可控;其次,計算機通過FPGA時序控制解吸附激光器發出解吸附激光,依次經過激光擴束儀、激光能量調控系統、石英片、斬波器、激光高反射鏡、拋物面反射鏡照射在被測樣品上;ICCD相機采集微區激光解吸附的XY分辨率;解吸附氣體被銥燈絲發射出的70eV高能電子電離再經由四級質譜儀采集質譜信息,送入計算機;最后,計算機提取需定量的質譜峰的強度及展寬信息,并與計算機中使用權威計量機構標定的通導型玻璃漏孔分壓方法得到的定量校準曲線對比分析,通過數據處理,得到微區燃料滯留的定量分析結果。
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