LF-2000綜合原位納米操作機
TNILF-2000是目前市面上基于SEM電鏡下使用的自動化程度高的納米操作系統,也是一種能夠在SEM電鏡下提供可重復定位、低漂移、閉環運動控制定位的納米操作系統。LF-2000可以在原位條件下進行力學測量、電學測試、納米物體拾取和裝配、制作微納米器件、納米電子器件電學測量等。
技術特點
完全兼容主流電鏡,不影響電鏡功能
市面上佳的運動定位性能:大行程、亞納米分辨率
位移傳感器集成自動化和可編程運動
SEM真空環境優化設計,可快速安裝與拆卸
應用
力學測量
LifeForce為
納米材料的力學特性提供高分辨率的力和位移反饋,實例照片展示的是用球端AFM懸臂探針對硅納米線簇進行納米壓痕,以及對單根納米線的拉伸測試。
電學特性
LifeForce為納米材料提供可靠、低噪音的電測量,以及與納米結構的原位相互連接。實例照片展示的是四探針測量納米線電學性能。
拾取和放置操作
使用末端工具(例如:探針、微納米夾持器、超聲切割針),操作者能夠操作LifeForce納米操作手在SEM電鏡內對微納米物體進行推、拉和抓取等操作。
制作微納米器件
精密的操作手運動能夠實現微納米器件的快速成型和后處理。實例照片展示的是納米線FET傳感器的構造。
納米電子器件電學測量
LifeForce納米操作機是是市面上能夠自動探測電子結構(范圍從亞微米,亞100nm及亞20nm)。只需要通過計算機點擊鼠標,將探測針定位到目標位置。較為低的定位漂移,保證數據采集的可靠性。