本發明公開一種面向納米觀測與操作的樣品無損逼近方法。它通過控制樣品相對于探針進行微米級的初調運動及納米級的精密運動,經檢測反射激光光斑的位置變化信號的反饋控制步驟,通過檢測樣品逼近探針產生原子力作用時產生的光電檢測信息進行反饋控制,達到控制樣品無損逼近探針的目的。采用本發明可以避免碰撞逼近所造成的探針或樣品損傷。
聲明:
“面向納米觀測與操作的樣品無損逼近方法及實現裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)