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第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創新研討會”！2024-08-05
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?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
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第六屆全國火法冶金工藝技術與裝備交流會
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材料行業
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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檢測行業
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025第三屆全國金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會
第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
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高熵能源材料
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鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質檢及倉單生成流程
譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

熱門報告

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2025年電解鋁行業形勢分析
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> 用于處理絕緣體上半導體結構以提高半導體層厚度均勻度的工藝

用于處理絕緣體上半導體結構以提高半導體層厚度均勻度的工藝

820 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:17:28

本發明涉及一種用于處理絕緣體上半導體型結構的工藝，該絕緣體上半導體型結構依次包括支撐襯底(1)、介電層(2)和具有小于或等于100nm的厚度的半導體層(3)，所述半導體層(3)被犧牲氧化物層(4)覆蓋，其特征在于該工藝包括以下步驟：在分布在所述結構的表面上的多個點處測量所述犧牲氧化物層(4)和所述半導體層(3)的厚度，以根據所述測量生成所述半導體層(3)的厚度的繪圖并確定所述半導體層(3)的平均厚度，選擇性刻蝕所述犧牲氧化物層(4)以暴露所述半導體層(3)，以及對所述半導體層(3)執行化學刻蝕，根據所述半導體層(3)的平均厚度的所述繪圖來調整所述化學刻蝕的施加、溫度和/或持續時間條件，從而在所述測量步驟結束時將所述半導體層(3)至少局部地減薄被識別為高出的厚度的厚度。

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聲明：

“用于處理絕緣體上半導體結構以提高半導體層厚度均勻度的工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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2025年08月14日 ~ 16日

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下載:139

2 取、制樣安全淺析

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3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

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6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

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7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

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