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            用于制備超級電容器RuO2電極材料的電沉積工藝

            1083   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:14:38
            一種用于制備超級電容器RuO2電極材料的直流-示差脈沖組合電沉積技術, 采用純度大于99.95%的金屬鉭箔作為基片,配置RuCl3·3H2O、SnCl2和NaNO3的混合 溶液,濃度分別為1~5mmol/L、0.2~1mmol/L和10~200mmol/L,經充分攪拌、 靜置。以石墨做陽極,金屬鉭片為陰極,先用1~3mA/cm2直流電流沉積0.5~1h, 再采用示差脈沖電流沉積沉積2~3h,電壓脈沖寬度為1~10sec,脈沖周期為2~ 20sec,振幅為0.01~0.02mA/cm2,每點電壓增益為0.005~0.01mA/cm2,其終止電 流密度為5~8mA/cm2。制備RuCl3·3H2O薄膜前驅體,薄膜自然涼干后經過200~ 500℃處理,升溫速率為10℃/s,保溫時間為2-3h。本發明首次提出采用直流- 示差脈沖組合電沉積技術制備RuO2薄膜,工藝簡單,操作簡便,具有一定的工業 價值。用CHI660C電化學測試儀對薄膜材料的電化學性能進行測試,附著力的測 試采用GB5210-82拉開法,測定比電容達720F/g,附著力達11.3MPa。
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