本發明公開了一種碲鎘汞鈍化膜層工藝參數確定方法及裝置,所述方法包括:分別將膜層沉積系統的各工藝參數作為唯一變量,在襯底濺射一層或多層化學膜層;對所述化學膜層進行折射率測試,獲取所述化學膜層的折射率隨各工藝參數的變化曲線,并根據所述變化曲線獲取所述化學膜層的折射率最大點對應的各個工藝參數的數值;將所述數值作為膜層沉積系統沉積所述化學膜層時的工藝參數。
聲明:
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