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            > 多晶硅還原爐內硅棒生長速率預估模型

            多晶硅還原爐內硅棒生長速率預估模型

            900   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:14:37
            本發明公開了一種多晶硅還原爐內硅棒生長速率預估模型,包括數據采集及預處理模塊,用于通過傳感器采集與硅棒生長速率相關的數據,并對采集的數據進行數據清洗;數據集篩選模塊,用于對數據采集模塊經過數據采集、數據清洗后的數據集進行篩選,得到訓練集和測試集;訓練和評估模塊,用于對梯度提升決策樹模型進行訓練,利用平均相對誤差以及合格率對模型進行評估,待預測模塊,用于輸入待預測特征向量;預測結果模塊,用于將所述的待預測特征向量輸入到預測模型中,輸出預測結果。本發明摒棄了傳統的理論研究中復雜化學反應對生長速率的影響,不用考慮繁復的化學反應,實現了對多晶硅生長速率的預估,為提高生產效率,縮短生產周期提供指導。
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