本發明提供了一種在氮化鋁基底上生長低粗糙度金剛石薄膜的制備方法。該方法是在熱絲化學氣相沉積系統中采用循環沉積氣壓的方法在氮化鋁基底上生長低粗糙度的微晶金剛石薄膜,具有較高的穩定性、耐蝕性,具有相對低的表面粗糙度;使其有望用于波導器件中減少光的散射損失,增強檢測精度,對于制備金剛石薄膜基波導器件有重要的應用價值。
聲明:
“氮化鋁基底上的低粗糙度微晶金剛石薄膜及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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