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第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?陜西中迪能環科技有限公司受邀參加全國有色金屬工業電化學第二屆學術會議2023-07-21

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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
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2025鉛鋅產業市場研討會
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吸附劑的結構設計與性能調控
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最新報告

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二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
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高熵能源材料
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選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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基于(111)硅的微機械加速度傳感器及制造方法

825 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:32:30

一種基于(111)硅的微機械加速度傳感器及其制造方法,該傳感器是由一片(111)單晶硅基板和上、下基板各一片構成,(111)硅基板上的慣性質量塊是由同一基板上的至少一對彈性懸梁連接到固定邊框,在外來加速度作用下可作垂直于基板表面方向的運動,并引起其與上、下基板上的平板電極間的電容發生變化,以檢測外來加速度。所述彈性懸梁相對于(111)硅基板為上下對稱,其制造和尺度控制是由硅化學各向異性腐蝕和高深寬比干法刻蝕工藝組合實現的,(111)硅基板與上基板、下基板通過對準鍵合連接。該傳感器實現閉環檢測,具有結構對稱性好、工藝可控性好、檢測精度高、易于多軸集成等特點,應用于石油地震勘探等領域。

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“基于(111)硅的微機械加速度傳感器及制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

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5 樣品變質引起采制樣和結算問題

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6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

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7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

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