工作原理:
基于X射線錐束掃描與迭代重建技術:設備通過高穩定性微焦點X射線源(焦點尺寸≤0.5μm)發射錐形X射線束,穿透樣品后被高靈敏度平板探測器(像素尺寸≤4.95μm)接收,樣品在精密旋轉臺(分辨率0.001°)上以360°旋轉掃描,采集多角度投影數據;通過FDK濾波反投影算法與深度學習重建模型,生成分辨率達50nm的三維體數據,可清晰解析材料內部孔隙、裂紋、晶界及纖維分布等微觀特征。
應用范圍:
應用于材料研發與失效分析場景,包括鋰離子電池電極材料孔隙結構表征、增材制造金屬零件內部缺陷篩查、生物組織(如骨骼、牙齒)三維成像、半導體封裝微裂紋檢測,以及碳纖維復合材料界面結合強度評估。
產品技術參數:
X射線源:微焦點管(最高電壓160kV,功率15W),焦點尺寸≤0.5μm
探測器:2048×2048像素平板探測器,像素尺寸4.95μm,動態范圍16bit
分辨率:空間分辨率50nm(體素尺寸),密度分辨率≤0.5%
掃描參數:旋轉角度0°-360°,步進0.05°-1°,單次掃描時間10-120分鐘
樣品臺:承重≤5kg,XYZ三軸平移精度1μm,溫度控制范圍-40℃-150℃(可選)
重建算法:FDK反投影+AI深度學習降噪,支持GPU加速
數據輸出:支持DICOM、STL、VTK等格式,兼容Avizo、Dragonfly等分析軟件
設備尺寸:主機1200mm×800mm×1800mm,重量≤800kg
電源與環境:AC 220V±10%,50Hz,功耗≤3kW,溫濕度15℃-30℃/30%-70%RH
產品特點:
超高分辨與低劑量:0.5μm焦點與4.95μm像素探測器組合,實現50nm級分辨率,同時通過AI降噪降低輻射劑量30%。
多模態成像:支持吸收對比度與相位襯度成像,適配輕元素材料(如聚合物、生物組織)分析。
原位觀測能力:可選配環境控制模塊,實現充放電、熱循環、力學加載等過程的實時三維成像。
智能化分析:集成AI缺陷識別與孔隙率統計工具,一鍵生成量化分析報告。
緊湊高效設計:桌面級尺寸與模塊化結構,實驗室空間占用小,維護成本低。