本發明公開了一種基于狹縫波導的光微環諧振傳感器及其制作方法。利用光刻,氧化,干法腐蝕,SOI技術等半導體制造工藝,在同一襯底上制作一根基于狹縫結構的直波導和一個基于狹縫結構的微環波導,其中微環波導位于直波導的一側,狹縫位于兩波導平面的垂直方向,并制成空腔,微環內環里側也刻蝕成空腔,且與狹縫相通。將生物/化學微流體注入微環內壁里側空腔,改變了波導包層和狹縫的折射率,利用微環對不同折射率分布響應的諧振點不同的特性,結合狹縫波導結構,獲得光能量集中,利于傳感檢測的諧振效果,從而有效地實現對不同生物/化學微流體的傳感檢測。在信息傳感領域具有重要的實際應用價值。
聲明:
“基于狹縫波導的光微環諧振傳感器及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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