本發明公開了一種超級結深溝槽外延填充參數的計算方法,對不同產品通過其基礎參數計算深溝槽需要填充的總容積,在相同外延填充時間條件下收集其化學機械研磨終點檢知時間數據,通過大數據分析得到深溝槽體積與EPD的線性關系,根據線性關系及外延過填程度和EPD的關系再進行理論推導,可以快速高效地推算出不同產品需要的理論外延填充時間,不再需要進行FA SEM切片或做外延填充時間拉偏實驗來確認填充程度,不僅節省大量測試環節時間,而且提高了外延工藝精準度。
聲明:
“超級結深溝槽外延填充參數的計算方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)