本發明公開了一種薄膜型熱電轉換器及測量方法,涉及電學計量技 術,包括以硅片為襯底,利用低壓化學氣相外延方法在襯底上生長的 SiO2-Si3N4-SiO2三層薄膜夾層結構,多次磁控濺射不同材料以及多次光刻、 腐蝕制備的熱偶、加熱器和接觸電極;其中,兩個加熱器并排放置在一個 熱偶的兩側。本發明的薄膜型熱電轉換器,測量時,使交流和直流同時分 別流過兩個加熱器,在熱偶上輸出交流、直流電功率導致的溫度差,直接 比較交流與直流電功率,使環境溫度和溫度梯度的變化對測量結果影響大 大降低。
聲明:
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