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第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會

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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
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生物炭阻控稀土礦區重金屬污染效應及機制研究
基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
廢酸資源化處置利用概述
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拋光方法和化學機械拋光設備

758 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:03:19

本發明公開了一種拋光方法和化學機械拋光設備，其中拋光方法包括：晶圓完成磨削后，測量晶圓CMP之前的厚度的前值形貌，根據損傷層厚度確定去除損傷層之后的厚度的上限形貌，其中，所述上限形貌為前值形貌減去損傷層厚度；如果預存的參考厚度落在前值形貌和上限形貌之間，則基于使平整度和拋光效率最優的約束條件重新計算厚度的目標形貌，其中，所述目標形貌限定在上限形貌和下限厚度之間，所述下限厚度為制程要求的晶圓最薄厚度；如果所述參考厚度落在上限形貌和下限厚度之間，則直接將參考厚度作為目標形貌；按照所述目標形貌調整拋光壓力執行拋光。

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聲明：

“拋光方法和化學機械拋光設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

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9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 非常規礦產品取制樣方法的探討

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