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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
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2025鉛鋅產業市場研討會
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化學機械研磨裝置以及研磨方法

974 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:00:54

本發明涉及一種用于研磨半導體晶圓基材的化學機械研磨裝置及研磨方法,該裝置適用于研磨一晶圓上的一材料層,其包括一底座、數個研磨頭、數個研磨墊、一度量器以及一控制器。該研磨頭是設置于該底座之上;該研磨墊是設置于該底座之上;該度量器是設置于該底座之上,并且是位于該研磨墊中的兩個相鄰研磨墊之間,用以量測該材料層的厚度。該控制器是連接于該研磨墊以及該度量器;該研磨方法是在該研磨墊中的至少一個第一個研磨墊上研磨該材料層;以該度量器量測該材料層的厚度;以及在該研磨墊中的至少一個第二個研磨墊上將該材料層研磨成一目標厚度。本發明可以較大幅度的節省研磨的時間,提高生產效率。

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聲明：

“化學機械研磨裝置以及研磨方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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化學分析

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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10 非常規礦產品取制樣方法的探討

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