本實用新型公開了一種用于化學機械研磨的固定環,適于固定一晶片,所述固定環包括:一環形本體,其內部開設有一環形通道;至少一個第一孔,分布在環形本體的外壁上,且與環形通道連通;多個第二孔,均勻分布在環形本體的內壁上,且與環形通道連通,當化學機械研磨工藝被中斷時,通過由固定環內壁孔中噴射出的保護液清洗金屬表面的研磨液,可防止金屬被腐蝕,減少在后續工藝中金屬表面產生擦痕,并且延長機器檢修時間。
聲明:
“用于化學機械研磨的固定環” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)